Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок Советский патент 1962 года по МПК G01B11/06 G01B9/02

Описание патента на изобретение SU145756A1

п- показатель преломления материала пленки; ДА - расстояние между двумя парами ахроматических полос; h - расстояние между соседними полосами.

Предлагаемый способ позволяет производить измерения самых непрочных пле}юк, так как он является бесконтактным. Для осуществ.тения описанного способа может быть использован, напри:,1ер микроинте)форометр , выпускаемый отечественной промышленностью.

П р е д м е т и з о б р е т е ) и я

Интерференционный споеоб измерения толщины тонких прозрачных пленок с извеетным показателем преломления на интерференционном оптическом приборе, отличающийся тем, что, с целью упрощения определения толщины пленки, в наблюдаемой интерференционной картине, образованной белым светом, падающим нормально к поверхности пленки и отраженным от наружной и внутренней ее поверхностей, измеряют расстояние между двумя парами ахроматических полос и между соседними полосами.

Похожие патенты SU145756A1

название	год	авторы	номер документа
Способ определения толщины пленки	1990	Усанов Дмитрий Александрович Тупикин Владимир Дмитриевич Скрипаль Анатолий Владимирович	SU1742612A1
СПОСОБ ВИДЕОИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ	2002	Усанов Д.А. Скрипаль А.В. Скрипаль А.В. Абрамов А.В. Сергеев А.А. Абрамов А.Н. Коржукова Т.В.	RU2233430C1
Способ определения толщины оптически прозрачных слоев	1981	Пашкуденко Валерий Петрович Прохоров Валерий Анатольевич Чирков Вадим Михайлович Моисеенко Анатолий Прокопьевич Бандура Мирослав Петрович	SU1002829A1
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ЖИДКОСТИ И ГАЗА В ТУРБУЛЕНТНЫХ ПОТОКАХ	1989	Мищенко Ю.В. Петухов В.Г. Мартиросов И.М. Ринкевичюс Б.С.	SU1626855A1
УЧЕБНЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ ПРИБОР	2001	Амстиславский Я.Е.	RU2206064C2
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОКАЗАТЕЛЯ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ПРОЗРАЧНЫХ ТВЕРДЫХ ТЕЛ	1989	Мищенко Ю.В. Ринкевичюс Б.С.	SU1584555A1
Дифманометр	1976	Ефремов Юрий Павлович Хавинсон Владислав Матвеевич	SU602798A1
Интерферометрический газоанализатор	1979	Панов Виталий Васильевич Цейслер Петр Петрович Жариков Иван Иванович	SU826217A1
Интерференционный способ измерения показателя преломления диэлектрических пленок переменной толщины	1977	Комраков Борис Михайлович Шапочкин Борис Алексеевич	SU737817A1
Интерференционное устройство дляизМЕРЕНия пОКАзАТЕля пРЕлОМлЕНиядиэлЕКТРичЕСКиХ плЕНОК пЕРЕМЕННОйТОлщиНы	1978	Комраков Борис Михайлович Шапочкин Борис Алексеевич	SU805141A1

Иллюстрации к изобретению SU 145 756 A1

Реферат патента 1962 года Интерференционный способ измерения толщины тонких прозрачных пленок

Формула изобретения SU 145 756 A1

.хроматические ПО/10СЫ

SU 145 756 A1

Авторы

Швец В.Ф.

Даты

1962-01-01—Публикация

1961-04-04—Подача