Устройство для контроля параллельности Советский патент 1988 года по МПК G01B11/30 

(54) УСТРОЙ., i ВО /1Я KOHTPO lM МЛ

РЛЛЛЕЛЬНОСТИ

(57) Ичибретеи пиосл сн к измери : с-i,ной Texiii K j. 1Ьм 1::; брсте1П И хвс. 1 |фопмаги;5м; с П конгро. ;: 1()И1. ;:е

:-.(V ;);1|,; :,; i 11 И. U1С V на 1;ОЧП4И(НИО

.|п v.-4 Nicii. ус ; . Л ;:.;.; i:a

. 13с. 1:чина oi клоне.,, ::.::i;-o ra. %;e;ia .ic. :нсгся

4;

О

И;юбр ;;тение относится к измерительной тех в-:ке i-- может быть использовано для определения нзаиглного положения об1)екто в манп-: остроекии и стронтельстие.

1До;1ь изобретения -- уве;;имение кифор- матквности контроля и измерений, -ювьиме- ние производительности за счет одн(;времен- ного измерения линейных и угловых отклонений от номинального размера.

На фиг. I приведена нринци. тиальнаи схема устройства для контроля параллельности (оси .контролируемых объектов взаимно гараллельны); на фиг. 2 то .же, оси

ненараллельны.

Устройство содержит оптически связал- ные и последовательно установленные на одном из контролируемых объектов источник из;1учення, зонную марку 2 и полупрозрачное зеркало 3, установленное углом 43 к оси объекта, нару пента нрнзм 4 и 5, устано1злен1-1ых на базовых точках, расстоя- нне между которыми равно номинальному размеру, установленные на втором контролируемом объекте второе no;i у прозрачное зеркало 6, расположенное no/i углом 45° к осн об ьекта, позициоино-чувствительиые элементы 7 и 8. Зеркала 3 и 6 расположены на равных расстояниях от базовых точек. Один из позиционно-чуиствительных элементов 7 установлен в ходе излучен:-1я. от первого н нрон ед1пего че)ез : :орое п.:.. | м ; Озрачное зеркало Н; расстоя- нпп от 1;-1след1-:егп

1 де / расстояние от 1 еомстричсского ра второго полупрозрачного зеркала до ri.iiocKOCTH анализа O3i{ i;iOHHO- чувС:-; ительного элемента;

К - кээ(|)фИ1и;ент обеспечения точнснггн;

2()(-i2;35;

о: --предельный диапазон измере 1Й;

, /1, norpeujiiOCTb измерений.

моз:1цион::о- 1увствите; ьный 7 л10.кг-т быть предпарите.:.ьао сь:ре:1леп с прозрачкыл: зеркалом 6 па едчиом центоо- гочном гч ;спб1 облепии.

Бюргл позии.нонно-чузстви е.,.: ; мент 8 в хо.дг излучеии :, i.ponie.n- liiei v, ер--з оба полутрозрачпь :; 3ei;;(aji 3 и 6 и .1;;ризмы -i к 5.

Зеркала 3 и 6 оасположег;; со (}л; о.

к 5 (фиг. 1).

У ;гронстзо работает следую.дим образом.

iipn выполнен; ;; требуемого условия psc- .положения объектов {т. е. объе а -: не имеют взаилшого разворота и номинальный размер расстояния между ними соблюдается) лу от исгоч;- ка. 1 из. учения. пройдя плястину (марку) 2. попадает на полуггоо- зрачное з ркало 3, где одна часть светоБо:-о потока отражается и распространяется з нг- правле -н--1и с.-мметрично установленного сум0

5

iiipy.ornero полуирозр чного зеркала 6, а д:1угая часть светового ПОТОКЕ распространяется в направлении нентаприз.мы 4. Пента- |;ризмы 4 и 5 разворачивают луч лазера ст)ого на 180. ГТройдн пснтапризл ч 5,

попадает в суммируюи ее нолу-оозрачное зеркэ. Ю 6

Поскольку условия расположения выполняются, то два луча, iTOi:a;ia:oHiHe на полупрозрачное зеркало 6, после его прохождеQ ния фо)мируют две зетви параллельных лучей, расстояние укгжду которыми соответствует величине сдвига 6,.- оси скмметри/: полупрозрачных зеркал 3 и 5 от-носительно оси симметрии пентапризм 4 и 5. Одна ветвь па1)аллельных . Л чси попадает на позицион5 но-чувствите,лы-;ь;й элемент 7, который уста/ ;.; повлен на рассто5пжи ,, от геомет)ического центра суммируюп.,его полупрозрачного зеркй.ла 6, другая ветзь пара.члель- t j-лх лучей попадает на позицио но-чувст- . зителькый элслчент 8. Оба элемента зарегистрируют расстояние межд;/ максимумами ;иг/х .т,нфракиио) изображений ; сточни- ка света, сфоомиропаниы(и в их плоскос Т ях аналс а. Эт1-1 расстояния раз1- ы между собой и paBHbi зеличине сдвига 6,- оси симметрии полупрозрачных зе|жал 3 и 6 от1;ос1 тельно симметрии пентапрчзм 4 и 5. При невы- п(1:1нении условий ).;споло Хг пин об ьектоя, I. е. xor;j,a к/ьек с пзспо:к;жс: Ь под неко

ТОрЫМ углом друг к Д()Ч и ОМИНа.:1ЬНЬ Й

i) размер paccTO MUiK vic/кду икми не соблюдается (. м. фиг. 2), :;е;н.;а-|0 6 сформирует .;::ic cc iic pa.; .1РЛ .;к;,:х всуз;: -зл чен1:я. Пози- i;; () ii-o-4V3Cr4KTe. i-; члсл.мгг PC |-; чроват -; о : осите..:п,но омяналь- roi o /азмера.

Ве.пичипа ..1онепия о г нсгМиналы О о размера опрс.челяется как

Л.-.:5,;-26,,

величина ук:;оиспи HOi o руз...

расстог ;ир рс: пстрир , с.1К)е э;;е- (1 7, v ч ;симу:у; :л:И дн- d -p34nnofiH.;,x изображе Д-1Й исгоч- 1;икй света, с-роя1 ухся в плоскости анг:Лиза - ;. - э.к В .л;:чипя c.:y;i- -; :;о.:п;Г1;)озрачнь;. -с сителого оси СИ 4 и 5. ,;- c: .iO-4yficTBi-iT,4b b M л -:ч-;:Рдую PC- mi- /iHy, ;:оо ;; С Хтвую- ;Ойому pajjiopoTy .}я::/мь х эл 7- :1ри этом ог) л lej.яеуая тловся

л --- ); сстоя11ио, ii/iocKoci bio .и Онио-чувст1 ите, 1ьиогч) i.. га 8 : 1Ч о ;етричсским цент:

СуммИПуюИК ГОпол у прозри ч ill

зерка,1, 1 ).

( -.-:2062В5.

Ус ; ройство обсспечиваот рас iiniDc ;, функ1:,иона.л1яИ)1е г«),г,1ожност 1, так как Еизляет выверять т,:;овьле отклоиен:ия ог раллельности и линейные уклоне ;1Я от Мк1иального pa3 v:epa раестояния- между раллелыги/viH э.лел-ентами, при этом пов1зм ется пронзволи 1е.1Ь 10сть устройства, так i обе операции вь:1101Ь1Яютея o;inoBi)e.MeF и в автоматическом режиме.

скре 1ляемыс с о. ЫМл из конт| )о,. б;;( ктов, onr:i ecK O систему и иозишгопио- ;:;, пс гвителЫ Ь й :.. ci |ieri..ibii i с ;01П ;к1/;ир смым об ьектом, or.iu uiHiii e- c.. i , чт( с :;е/;ь;о повьииеиия пиформа- ii-HHocTn и 1 ро1 :4();1итсл1 пос1 и )ля. ( cHao/Kc;io вт(;рым i()3iiii:iOiinO 4 встви- ; eib;ibi : эЛ1л;е1;гом. oi i 1Ч(Ч кая система ьп1олиеиа в виде после,и)вате, ста1К)в- 1е;1И1,1х полупризрачного зсрк.ьш. дв неп- и BTOjioi o нолл прсзрачного зорка.ча, нептаиризм установ.чеиы в oa.-iOBBix | оч1ча... полу|1розрачнв1е зеркала предназначены .д.-1я установки на соответсг зующи.х контролнруе- .;ых об ъектах под r.iOM 45 к их осям па равных расстояниях от соответствующих базовых точек со сдвигом оси симметрии зеркал от1юситель:-:о оси симметрии иента- призм. ;i второй нозицпо1 но-чувствите. элемент установ;)еп в ходе из. П чения, от|)а- AdiHoro от первого п}10 неД1иего через второе но.1упрозра .:ное зеркало.

v§

«i