Способ фотометрического контроля многослойных покрытий Советский патент 1988 года по МПК G01B11/26 

сл

о

сд

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического контроля толщины пленок в процессе напыления многослойных покрытий, предназначенных для работы в ультрафиолетовой области спектра.

Цель изобретения - расширение диапазона параметров контролируемых покрытий, достигаемое благодаря использованию для к онтроля излучения с длиной волны, большей, чем рабочая, и связанной с ней известной зависи- мостью, и прекращению напыления оче- редного слоя по достижении контрольным образцом определенного козффиц - - ента пропускания.

Контроль толщины пленок п процессе напыления многослойного покрытия/ содержащего чередующиеся слои двух веществ, ш его1дик показатели преломления п,

и п Сп

), производится следующим образом.

Используются два КО1- ГрОЛЬНЫХ Обр азца, на которые напыление веществ, составляющих покрытие, производится одновременно с напылением на рабочую подложку. На каж,цьй контрольный образец напыляют все слои только одного из веществ, для чего контрольные образцы попеременно экранируют. В процессе напыления облучают соответствующий контрольньш образец излучением с длиной волны / jp , кратной длине волны Tig , которой, в спою очередь, кратны учетверенные расчетные толщины слоев покрытия. По интенсивности отраженного или прошедтлего контрольный образец излучения onpe-jQ нечетньии камерами К, Т Т(0,25 х

деляют )ициент Т его пропускания, и прекращают напыление очередного слоя по достижении коэффициентом Т значения, соответствующего толщине 0,25 А(р для слоев с нече1- ными номерами, толщине 0,25 Лф - для слоев с номерами 4п-2 и нулевой толщине - ДЛЯ слоев с номерами 4п, где п - натуральное число.

) - для слоев с номерами-К

4п-2 и TK Т(0) для слоев с номерами К 4п, где п - натуральное число, T(0,,) - козффтщи, ент пропускания слоя толщиной 0,1 25 Д« Т(0,25 ) - коэффициент пропускания слоя толщиной 0,25 Лср, а Т(0) - коэффициент пропускания слоя нулевой

толщины.

o s

0

5

0

Предлагаемый способ позволяет, не применяя специальных фотометров для ультрафиолетовой области спектра и не производя громоздких вычислений, связанных с пересчетом параметров пленок с одной длины волны на другую, расширить спектральный диапазон контролируемых покрытий в ультра- Фиолетовой области спектра.

Формула изобретения

Способ фотометрического контроля многослойных покрытий, заключающий- ся в том, что напылению подвергают рабочую подложку и несколько контрольных образцов, на каждый из которых напыляют слои одного из веществ покрытия одновременно с их напьшени - ем на рабочую подложку, на контрольные образцы направляют монохромати-- ческое излучение, измеряют интенсивность прошедшего контрольный образец или отраженного им излучения и определяют толщину очередного слоя по измеренному значению интенсивности, отличающийся т ем, что, с целью расширения диапазона параметров контролируемых покрытий, используют излучение с длиной волны

Оч

Ф

кратной длине волны А , величи

не которой кратны учетверенные расчетные толщины слоев покрытия, а насьш1ение очередного слоя прекращают по достижении контрольным образцом с пленкой одно1 ме п-1ого вещества оптической толщины К 0,125 ЛО) коэффициента пропускания Т Т(К 0,1 251(р) , причем Тц Т(0,125 Лд,) для слоев с

нечетньии камерами К, Т Т(0,25 х

нечетньии камерами К, Т Т(0,25 х

) - для слоев с номерами-К

4п-2 и TK Т(0) для слоев с номерами К 4п, где п - натуральное число, T(0,,) - козффтщиент пропускания слоя толщиной 0,1 25 Д«, Т(0,25 ) - коэффициент пропускания слоя толщиной 0,25 Лср, а Т(0) - коэффициент пропускания слоя нулевой

толщины.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для технологического контроля толщины пленок в процессе напыления многослойных покрытий. Целью изобретения является расширение диапазона параметров контролируемых покрытий, достиг-аемое благодаря использованию излучения с длиной волны, большей, чем рабочая, и связанной с ней известной зависимостью. Одновременно с рабочей подложкой напыление слоев покрытия, состоящего из пленок двух чередующихся веществ, производят на два контрольных образца. Причем слои разных веществ наносят на разные контрольные образцы. Облучают контрольные образцы излуче- кием с длиной волны, кратной рабочей, и напыление каждого слоя прекращают по достижении коэффициентом пропускания контрольного образце определенного значения. Q (/)