со
00 00
113
Изобретение относится к измерительной технике, точнее к способам измерения и контроля толщин оптических покрытий в процессе их изготов- ления, и может использоваться в оптическом приборостроении при создании одно- и многослойных покрытий.
Цель изобретения,- повьшение точности контроля толщины пленок - до- стигаеуся обеспечением возможности измерения толщин на кратных четверти длины волны контролирующего излучения .
Способ осуществляют следующим об- разом.
Задают значение контрольной толщины. При одновременном напылении вещества на подложку и контрольный об разец уменьшают путем модуляции количество вещества, напыляемого на один участок контрольного образца, относительно вещества, напыляемого на другой участок образца, например, с
л
помощью вращающегося прерывателя, вы полненного в виде модулятора с прорезью, который экранирует часть образца. Толщина пленки на этой части образца будет составлять d, где d - толщина пленки на участке, напыленном немодулировамным потоком; f - Коэффициент модуляции потока вещества, определяемый при помощи импульсного лазерного излучения. В процессе напьшения освещают образец мо- нохроматическим светом и измеряют интенсивности пучков, полученных при отражении или пропускании света от участков с толщинами d и /id. При этом значения интенсивностей этих пучков будут определяться коэффициентами отражения или пропускания участков образца, связанными с толщиной пленки. Коэффициенты являются периодическими функциями толщины слоев, осажденных на этих участках. До напыления пленки задают необходимую контрольную толщину, по заданной толщине определяют коэффициент модуляции |j потока вещества и производят напыление до тех пор, пока не будут выполняться соотношения
I ,Xd) I , (d+h); I.,(/id) Ii t (i (d+h) ,
где I, - интенсивность света, отраженного от участка контlo рольного образца, напыленного немодулированным потоком;
интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыленного модулированным потоком;
толщина слоя на участке, напыленном немодулированным потоком;
приращение ТОЛЕЦИНЫ слоя; - коэффициент модуляции потока вещества (), При достижении интенсивностей знаний, удовлетворяющих этим соотнониям, толщина пленки соответствует данному значению.
ормула изобретения
d h /j -
1. Способ контроля толщины пленки в процессе ее напыления, заключающийся в том, что одновременно производят напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают образец монохроматическим светом, модулируют поток ве- (щества, напьшяемого- на один из участков образца, измеряют интенсивности пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка и по соотношению интенсивностей судят о достижении контрольной толщины, отличающийся тем, что., с целью повьш1ения точности контроля, перед модулированием потока вещества определяют коэффициент модуляции, соответствующий контрольной толщине, а контрольную толщину считают достигнутой, когда вьшолняются соотношения
I ,(d) I , (d+h) ; la(/id) I-I p(d+h),
где 1, - интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напьшен- ного немодулированным потоком;
I - интесивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыленного модулированным потоком;
3 13887094
d - толщина слоя на участке,2. Способ по п.1, отличаюнапыленном немодулирован-щ и и с я тем, что для определения
ным потоком;коэффициента модуляции потока вещеh - приращение толщины слоя; ства используют импульсное лазер|ное
f - коэффициент модуляции по-излучение, тока вещества (О 1).
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Способ получения пленки заданной толщины | 1987 |
|
SU1583736A1 |
Способ получения пленки заданной толщины | 1988 |
|
SU1583737A1 |
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОЧНОГО ПОКРЫТИЯ В ПРОЦЕССЕ ИЗМЕНЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ НА ПОДЛОЖКЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1995 |
|
RU2087861C1 |
УСТРОЙСТВО БЕСКОНТАКТНОГО ШИРОКОПОЛОСНОГО ОПТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК | 2014 |
|
RU2581734C1 |
Способ определения толщины слоя на подложке | 1987 |
|
SU1465694A1 |
Способ измерения толщины пленки на подложке | 1980 |
|
SU947640A1 |
Способ контроля периода доменной структуры феррит-гранатовых пленок | 1990 |
|
SU1714679A1 |
СПОСОБ МАГНИТООПТИЧЕСКОЙ МОДУЛЯЦИИ СВЕТА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПЛАЗМОНОВ | 2013 |
|
RU2548046C2 |
СПОСОБ РАЗДЕЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕРОЯТНОСТЕЙ ПОГЛОЩЕНИЯ И РАССЕЯНИЯ ФОТОНОВ НА ЕДИНИЦУ ПУТИ В ТВЕРДЫХ ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛАХ | 2013 |
|
RU2533538C1 |
СПОСОБ УДАЛЕННОГО КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ И ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ В ПРОЦЕССЕ МАГНЕТРОННОГО ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ, И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 2013 |
|
RU2549211C1 |
Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля толщин оптических покрытий. Цель изобретения - повьшение точности контроля толщины пленки достигается обеспечением возможности измерения толщин, не кратных четверти длины волны контролируемого излучения. При напылении вещества на подложку и контрольный образец модулируют количество вещества, напыляемого на один участок образца, относитель- но вещества, напыляемого на другой участок образца. Образец освещают монохроматическим светом, измеряют интенсивности пучков, отраженньсх или прошедших оба участка образца, задают контрольную толщину, а коэффициент модуляции определяют «по заданной толщине. При достижении интенсивно- стей значений, удовлетворяющих установленным соотношениям, толщина пленки соответствует заданному значению. 1 3.п. ф-лы. (Л
Авторское свидетельство СССР №216275, кл | |||
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1988-04-15—Публикация
1986-04-16—Подача