Способ контроля толщины пленки Советский патент 1988 года по МПК G01B11/06 

Описание патента на изобретение SU1388709A1

со

00 00

113

Изобретение относится к измерительной технике, точнее к способам измерения и контроля толщин оптических покрытий в процессе их изготов- ления, и может использоваться в оптическом приборостроении при создании одно- и многослойных покрытий.

Цель изобретения,- повьшение точности контроля толщины пленок - до- стигаеуся обеспечением возможности измерения толщин на кратных четверти длины волны контролирующего излучения .

Способ осуществляют следующим об- разом.

Задают значение контрольной толщины. При одновременном напылении вещества на подложку и контрольный об разец уменьшают путем модуляции количество вещества, напыляемого на один участок контрольного образца, относительно вещества, напыляемого на другой участок образца, например, с

л

помощью вращающегося прерывателя, вы полненного в виде модулятора с прорезью, который экранирует часть образца. Толщина пленки на этой части образца будет составлять d, где d - толщина пленки на участке, напыленном немодулировамным потоком; f - Коэффициент модуляции потока вещества, определяемый при помощи импульсного лазерного излучения. В процессе напьшения освещают образец мо- нохроматическим светом и измеряют интенсивности пучков, полученных при отражении или пропускании света от участков с толщинами d и /id. При этом значения интенсивностей этих пучков будут определяться коэффициентами отражения или пропускания участков образца, связанными с толщиной пленки. Коэффициенты являются периодическими функциями толщины слоев, осажденных на этих участках. До напыления пленки задают необходимую контрольную толщину, по заданной толщине определяют коэффициент модуляции |j потока вещества и производят напыление до тех пор, пока не будут выполняться соотношения

I ,Xd) I , (d+h); I.,(/id) Ii t (i (d+h) ,

где I, - интенсивность света, отраженного от участка контlo рольного образца, напыленного немодулированным потоком;

интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыленного модулированным потоком;

толщина слоя на участке, напыленном немодулированным потоком;

приращение ТОЛЕЦИНЫ слоя; - коэффициент модуляции потока вещества (), При достижении интенсивностей знаний, удовлетворяющих этим соотнониям, толщина пленки соответствует данному значению.

ормула изобретения

d h /j -

1. Способ контроля толщины пленки в процессе ее напыления, заключающийся в том, что одновременно производят напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают образец монохроматическим светом, модулируют поток ве- (щества, напьшяемого- на один из участков образца, измеряют интенсивности пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка и по соотношению интенсивностей судят о достижении контрольной толщины, отличающийся тем, что., с целью повьш1ения точности контроля, перед модулированием потока вещества определяют коэффициент модуляции, соответствующий контрольной толщине, а контрольную толщину считают достигнутой, когда вьшолняются соотношения

I ,(d) I , (d+h) ; la(/id) I-I p(d+h),

где 1, - интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напьшен- ного немодулированным потоком;

I - интесивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыленного модулированным потоком;

3 13887094

d - толщина слоя на участке,2. Способ по п.1, отличаюнапыленном немодулирован-щ и и с я тем, что для определения

ным потоком;коэффициента модуляции потока вещеh - приращение толщины слоя; ства используют импульсное лазер|ное

f - коэффициент модуляции по-излучение, тока вещества (О 1).

Похожие патенты SU1388709A1

название год авторы номер документа
Способ получения пленки заданной толщины 1987
  • Трунов Михаил Леонтьевич
SU1583736A1
Способ получения пленки заданной толщины 1988
  • Трунов Михаил Леонтьевич
SU1583737A1
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПАРАМЕТРОВ ПЛЕНОЧНОГО ПОКРЫТИЯ В ПРОЦЕССЕ ИЗМЕНЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ НА ПОДЛОЖКЕ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 1995
  • Михайлов И.Ф.
  • Пинегин В.И.
  • Бабенко И.Н.
  • Слепцов В.В.
  • Баранов А.М.
RU2087861C1
УСТРОЙСТВО БЕСКОНТАКТНОГО ШИРОКОПОЛОСНОГО ОПТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК 2014
  • Савчук Екатерина Валерьевна
  • Полушкин Валерий Геннадиевич
  • Тихонравов Александр Владимирович
  • Козлов Иван Викторович
  • Шарапова Светлана Анатольевна
RU2581734C1
Способ определения толщины слоя на подложке 1987
  • Жердев Александр Михайлович
  • Каныгина Ольга Николаевна
  • Каныгин Геннадий Николаевич
  • Киселев Олег Леонтьевич
  • Смажелюк Станислав Кондратьевич
  • Усова Наталья Васильевна
SU1465694A1
Способ измерения толщины пленки на подложке 1980
  • Петрова Александра Гавриловна
  • Мокеров Владимир Григорьевич
SU947640A1
Способ контроля периода доменной структуры феррит-гранатовых пленок 1990
  • Дружинин Юрий Олегович
  • Краснов Андрей Евгеньевич
  • Лунин Александр Федорович
  • Юрченко Сергей Евгеньевич
SU1714679A1
СПОСОБ МАГНИТООПТИЧЕСКОЙ МОДУЛЯЦИИ СВЕТА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПЛАЗМОНОВ 2013
  • Грунин Андрей Анатольевич
  • Четвертухин Артем Вячеславович
  • Шарипова Маргарита Ильгизовна
  • Долгова Татьяна Викторовна
  • Федянин Андрей Анатольевич
RU2548046C2
СПОСОБ РАЗДЕЛЬНОГО ОПРЕДЕЛЕНИЯ ВЕРОЯТНОСТЕЙ ПОГЛОЩЕНИЯ И РАССЕЯНИЯ ФОТОНОВ НА ЕДИНИЦУ ПУТИ В ТВЕРДЫХ ОПТИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛАХ 2013
  • Каплунов Иван Александрович
  • Колесников Александр Игоревич
  • Талызин Игорь Владимирович
  • Третьяков Сергей Андреевич
  • Колесникова Ольга Юрьевна
RU2533538C1
СПОСОБ УДАЛЕННОГО КОНТРОЛЯ ФОРМЫ ПОВЕРХНОСТИ И ТОЛЩИНЫ ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ В ПРОЦЕССЕ МАГНЕТРОННОГО ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ, И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 2013
  • Касьянов Дмитрий Альбертович
  • Кожеватов Илья Емельянович
  • Куликова Елена Хусаиновна
  • Силин Дмитрий Евгеньевич
RU2549211C1

Реферат патента 1988 года Способ контроля толщины пленки

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля толщин оптических покрытий. Цель изобретения - повьшение точности контроля толщины пленки достигается обеспечением возможности измерения толщин, не кратных четверти длины волны контролируемого излучения. При напылении вещества на подложку и контрольный образец модулируют количество вещества, напыляемого на один участок образца, относитель- но вещества, напыляемого на другой участок образца. Образец освещают монохроматическим светом, измеряют интенсивности пучков, отраженньсх или прошедших оба участка образца, задают контрольную толщину, а коэффициент модуляции определяют «по заданной толщине. При достижении интенсивно- стей значений, удовлетворяющих установленным соотношениям, толщина пленки соответствует заданному значению. 1 3.п. ф-лы. (Л

Формула изобретения SU 1 388 709 A1

Документы, цитированные в отчете о поиске Патент 1988 года SU1388709A1

Авторское свидетельство СССР №216275, кл
Печь для непрерывного получения сернистого натрия 1921
  • Настюков А.М.
  • Настюков К.И.
SU1A1

SU 1 388 709 A1

Авторы

Трунов Михаил Леонтьевич

Даты

1988-04-15Публикация

1986-04-16Подача