k
СЛ
С
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля линз с одной асферической поверхностью. Цель изобретения - расширение диапазона параметров контролируемых асферических поверхностей линз: по крутизне (до 40 и более) и величине допустимых погрешностей (от
J-t
4
tc
О до 20 мкм и более). Осветительный блок 1 формирует пучок лазерного излучения требуемой конфигурации, который после отражения от светоделителя 2 разделяется образцовой поверхностью пластины 3 на два пучка объектный и опорный. Объектный ; пучок проходит через прозрачное дно кюветы, слой иммерсионной жидкости 5, контролируемую асферическую поверхность 8 линзы 7 и падает по нормалям к второй поверхности 9 линзы 7, причем эта поверхность является плоской или сферической. Показатель преломления n,i: иммерсионной жидкости 5 выбирается равным показателю преломления Пд контролируемой линзы 7. После автоколлимационного отражения от этой поверхности 9 объектная волна повторно np ходит через контролируемую асферическую поверхность 8, слой иммерсионной жидкости 5, дно кюветы, образцовую поверхность пластины 3 и интерферирует с опорной волной. В
1
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля , лннз с одной асферической поверхностью.
Цель изобретения - расширение диапазона параметров контролируемых асферических поверхностей линз по крутизне (до 40 и более) и величи- не допустимых погрешностей (от О до 20 мкм и более) за счет размещения линзы контролируемой асферической поверхностью в сторону иммерсионной жидкости, а также за счет соответствующего выбора показателя преломления жидкости при использовании специально рассчитанного компенсатора.
На чертеже изображена принципиальная схема устройства для осущест- вления способа контроля формы асферической поверхности линзы.
Устройство содержит осветительный блок 1, светоделитель 2, пласблоке 6 регистрации и анализа производится регистрация и обработка, ин- терферограммы. На втором зтапе контролируемую асферичекую поверхность 8 освещают на просвет объектной волной через компенсатор А и слой иммерсионной жидкости 5, показатель преломления п, которой отличается от показателя преломления п линзы в соответствии с неравенством fn.- п j , Т,А/20 , где А- длина волны излучения; tf - допустимая погрешность формы контролируемой поверхности. После прохоткдения контролируемой асферической поверхности 8 объектная волна отражается в автоколлимационном ходе от поверхности 9 и интерферирует с опорной волной, образуя вторую интерферограмму. После вычитания первой интерферограммы из второй получается скорректированная интерферограмма, по которой опреде- деляют погрешности формы контролируемой асферической поверхности линзы. 1 ил.
тину 3 с резделительной образцовой поверхностью, компенсатор 4, иммерсионную жидкость 5 и блок 6 регистрации и анализа интерферограммы. На чертеже изображена также контролируемая линза 7, одна поверхность 8 которой является асферической, а вторая - плоской или сферической. Объектом контроля является асферическая поверхность 8 .
Способ осуществляется следующим образом.
Осветительный блок 1 формирует пучок лазерного излучения требуемой конфигурации, который после отражения от светоделителя 2 разделяется образцовой поверхностью пластины 3 на два пучка - объектньй, который проходит через поверхность пластины 3, и опорный, который отражается от нее. Первоначально компенсатор 4 отсутствует и объектньй пучо проходит через иммерсионную жидкость 5, контролируемую асферическую
31421991
поверхность 8 линзы 7, отражается от что позволяет выявить соответствую- второй поверхности 9 линзы 7 и пов- щие искривления интерференционных торно проходит через контролируемую поверхность 8 и иммерсионную жидкость 5. При взаимодействии объектного
полос в блоке 6 современными опто- электронными средствами.
После вычитания первой интерферо- пучка с опорным образуется интерферо- граммы из второй получают скорректи- грамма, которую регистрируют в блоке 6, Так как показатель преломрованную интерферограмму, искривления полос в которой зависят только
ления иммерсионной жидкости 5 равен ю от погрешностей формы контролируемой
показателю п преломления материала линзы 7, то погрешности контролируем мой асферической поверхности 8 не влияют на форму полос в зарегистрированной интерферограмме, которая в этом случае несет информацню о погрешностях второй поверхности 9 линзы 7 и неоднородностях ее материала. Иммерсионную жидкость 5 наливают в кювету (не показана) с прозрачным дном, которое не вносит искажений в объектный пучок.
Далее устанавливают перед поверхностью 8 линэы 7 компенсатор 4 и заменяют иммерсионную жидкость 5 на иммерсионную жидкость с показателем преломления, выбраннь1м в соответствии с неравенством
Д
- Пдр/
30 деляют погрешности формы контролируемой асферич еской поверхности лин зы, отличающийся тем, что, с целью расшир.ения диапазона п , раметров контролируемых асферических
где - длина волны излучения,
rf - допустимая погрешность формы контролируемой поверхности.
Вновь освещают контролируемую асфео ЧЕ; поверхностей, линзу размещают конт- рическую поверхность 8 объектньм пуч- э . -
ком, который теперь проходит компенсатор 4, иммерсионную жидкость 5, контролируемую поверхность 8, отражается от второй поверхности 9 линрсшируемой асферической поверхностью со стороны иммерсионной жидкости, после регистрации интерферо- граммы устанавливают перед контро- -,„ „. „.„,„.. ..„„, ... , лируемой поверхностью линзы компензы 7 и в обратном ходе лучей повтор- о
сатор и заменяют иммерсионную жидно проходит через контролируемую
кость на иммерсионную жидкость с показателем преломления, выбранным в соответствии с неравенством
асферическую поверхность 8, иммерсионную жидкость 5 и компенсатор 4. Результат взаимодействия объектной волны с опорной регистрируют в виде второй интерферограммы, которая по сравнению с первой интерферограммой дополнительно зависит от погрешности контролируемой асферической поверхности 8 линзы 7. Указанное вьш1е неравзнство между показателями преломления п,ц и п гарантирует, что деформация волнового фронта объектного пучка при получении второй инкость на иммерсионную жидкость с показателем преломления, выбранным в соответствии с неравенством
где А - длина волны излучения;
сГ - допустимая погрешность формы контролируемой поверхности линзы.
50 вновь освещают контролируемую поверхность объектным световым пучком и регистрируют вторую интерферограмму , ,а корректировку интерферограммы вы: полняют вычитанием первой интерферо- терфероЕраммы будет не менее.А/10, 55 граммы из второй..
ВНИИПИ Заказ 4414/36 Тираж 680
Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
После вычитания первой интерферо- граммы из второй получают скорректи-
рованную интерферограмму, искривления полос в которой зависят только
5
асферической поверхности 8 линзы 7. Расшифровку скорректированной интер- ферограммы вьтолняеют известными методами.
Формула изобретения. Способ контроля формы асферической поверхности линзы, заключающийся в том, что размещают линзу в иммерсионной жидкости, показатель п пре0 ломлёния которой равен показателю Пд преломления материала линзы, освеща- ют контролируемую асферическую по- . верхность линзы объектным световым пучком,формируют бпорный световой пу5 чок,регистрируют интерферограмму,пог- - лучаемую при взаимодействии объектного и опорного световых пучков,коррек- тируют интерферограмму и по скор- ректированной интерферограмме опре0 деляют погрешности формы контролируемой асферич еской поверхности линзы, отличающийся тем, что, с целью расшир.ения диапазона па- , раметров контролируемых асферических
кость на иммерсионную жидкость с показателем преломления, выбранным в соответствии с неравенством
где А - длина волны излучения;
сГ - допустимая погрешность формы контролируемой поверхности линзы.
50 вновь освещают контролируемую поверхность объектным световым пучком и регистрируют вторую интерферограмму , ,а корректировку интерферограммы выПодписное
