Масс-спектрометрический течеискатель Советский патент 1988 года по МПК G01M3/02 

X-(

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний и может быть ис- .пользовано в отраслях промьшшенности, использующих дпя контроля герметичности масс-спектрометркческие тече- искатели.

Целью изобретения является упрощение конструкции течеискателя при одновременном повышении его чувствительности путем снижения уровня флуктуации.

На чертеже представлена вакуумная схема масс-спектрометрического течеискателя.

Масс-спектрометрический течеиска- тель состоит из масс-спектрометричес- кой камеры I, высоковак уумного насоса 2 и форвакуумного насоса 3 с усвысоковакуумного средства откачки, отличающийся тем, что,

тановленным между насосами 2 и 3 фор- 20 через дроссельный вентиль с входом мирователем молекулярного режима течения (ФМРТ) 4, демпфирующих емкостей 5, на входе и выходе ФМРТ 4, 1МРТ 6 на входе в течеискатель за дроссельным вентилем 7, а также соединительных магистралей и запорной арматуры. ФМРТ 4 и 6 могут быть выполнены в виде блока капиллярных трубок

с целью повышения чувствительности в области больших газовых нагрузок, 25 он снабжен двумя формирователями мо лекулярного режима течения газа, од из которых установлен на входном тр бопроводе за дроссельным вентилем, а второй - между средствами высокос целью повышения чувствительности в области больших газовых нагрузок, 25 он снабжен двумя формирователями молекулярного режима течения газа, один из которых установлен на входном трубопроводе за дроссельным вентилем, а второй - между средствами высокоили трубки с поперечным сечением в форме спирали с суммарной проводимо- 30вакуумной и форвакуумной откачки, стью не менее проводимости замещаемыхи двумя демпфирующими емкостями, ус- участков вакуумных магистралей.тановленными на входе и выходе второТечеискатель работает следующимго формирователя, образом.2. Течеискатель по п. 1, о т л и

ную составляющую о шуктуаций давления, генерируемых насосом 3.

Экспериментальная проверка течеискателя ПТИ-10, оснащенного формирователями молекулярного режима течения газов показала, что чувствительность течеискателя повышается не менее чем в 10 раз во всем диапазоне допустимых на ПТИ-10 газовых нагрузок.

Формула из обретения

I. Масс-спектрометрический течеис- катель, содержащий масс-спектромет- рическую камеру, соединенные с ней через запорную арматуру средства высоковакуумной и форвакуумной откачки и входной трубопровод, соединенный

высоковакуумного средства откачки, отличающийся тем, что,

через дроссельный вентиль с входом

через дроссельный вентиль с входом

с целью повышения чувствительности в области больших газовых нагрузок, он снабжен двумя формирователями молекулярного режима течения газа, один из которых установлен на входном трубопроводе за дроссельным вентилем, а второй - между средствами высоковакуумной и форвакуумной откачки, и двумя демпфирующими емкостями, ус- тановленными на входе и выходе второ

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний с помощью массспектрометрических течеискателей. Целью изобретения является упрощение конструкции течеискателя при одновременном повьпиении его чз ствительности путем снижения уровня флуктуации. Те- чеискатель состоит из масс-спактро- метрической камеры 1 , высоковакуум- ного насоса 2, форвакуумного насоса 3, с установленным между насосами 2 и 3 формирователем 4 молекулярного режима течения газов (ФМРТ), демпфирующих емкостей 5, ФМРТ 6 на входе в течеискатель, а также соединительных магистралей и запорной арматуры. ШРТ 4 и 6 выполнены в виде блока капиллярных трубок или трубки с поперечным сечением в форме спирали с суммарной проводимостью не менее проводимости замещаемых участков вакуумных магистралей. 2 з.п. ф-ль, 1 ил. с S

Поток, поступающий на вход в тече- е а ю ш, м м с я , тем, что формироискатель, демпфируется на ФМРТ бис помощью высрковакуумного насоса 2 создается рабочее давление в масс- спектрометрической камере 1, насос 3 создает необходимый вакуум на выходе д чающийся тем, что формиро- насоса 2. ФМРТ 4 исключает высокочастотную составляющую флуктуации, а демпфирующие емкости 5 - низкочастотватель молекулярного режима течения газа выполнен в виде блока капиллярных трубок.

ватель молекулярного режима течения газа вьшолнен в виде трубки с поперечным сечением в форме спирали.

чающийся тем, что формиро-

ватель молекулярного режима течения газа выполнен в виде блока капиллярных трубок.

ватель молекулярного режима течения газа вьшолнен в виде трубки с поперечным сечением в форме спирали.