Способ контроля герметичности изделий Советский патент 1991 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к контроль- но-измерит,ельной технике, а именно к контролю герметичности многополостных изделий.

Цель изобретения - расширение технологических возможностей способа путем обеспечения контроля различных полостей многополостных изделий различными пробными газами,Способ контроля герметичности изделий реализуют следующим образом.

Заполняют полости изделия, допускающие контакт с гелием, пробным газом - гелием. Откачивают камеру, в которой размещено изделие, высоковакуумным средством откачки, дополнительно на его выходе сжимают газ и двухроторным вакуумным насосом из

объема сжатого газа отбирают пробу1 газа в масс-спектрометрический анализатор. По изменению концентрации гелия в объеме определяют негерметичность полостей.

Затем в объем вакуумной камеры вводят балластный газ, например, аргон. Настраивают плазменный течеис- катель по контрольной течи, регулируя поток балластного газа в пределах 100-200 мм3/с и давление на .выходе из двухроторного насоса в пределах 0,5-2,0 мм рт.ст. дросселированием откачки механического насоса.

Это диапазон рабочих давлений газоразрядной камеры плазменного течеискателя, размещенного в объеме дополнительного сжатого газа.

о ел

СО

Затем осуществляется обычный спо10

20

25

об контроля герметичности изделия, .е. определяется чувствительность спытаний по контрольной течи, заполняется полость изделия, не допускающая контакта с гелием, например, приборный отсек, электроотрицательным газом, элегазом и в динамическом режиме - не прекращая откачки - фиксируется сигнал плазменного течеис- кателя от суммарного натекания на полости изделия.

Пределы величины по потоку бал- . ластного газа 100-200 мм3/с и по J5 давлению в газоразрядной камере 0,5- 2,0 мм рт.ст. взяты из технической характеристики имеющихся плазменных течеискателей. Конкретные величины: по потоку и давлению индивидуальны для каждого прибора и являются ориен - тировочными.

Лабораторная отработка нового способа контроля герметичности изделий на вакуумной камере объемом 1,3 м3, оснащенной турбомолекулярным насосом ВИН - 500, двухроторным вакуумным насосом ДВН - 5-2 и форвакуумным насосом ВН - 2МГ показала, что порог чувствительности по элегазу значительно меньше, чем при испытаниях с использованием аргона.

В предлагаемом способе открывается возможность на одной и той же вакуумной установке наряду с гелием и аргоном использовать в качестве пробного газа элегаз и различные фреоны, например хладон-12. В качестве балластного газа может быть использован аргон.

Дополнительное сжатие газа лучше .Q всего осуществлять двухроторными насосами Рутса (например, ДВН - 5-2, ДВН - 50, ДВН - 150 и др.). Оно требуется для обеспечения давления порядка 0,5-2,0 мм рт.ст., необходимого для создания оптимальных условий газового разряда в газоразрядной камере плазменного течёискателя, и может регулироваться как величиной потока балластного газа, так и дрос- CQ селированием откачки перед механическим насосом.

30

дс

5

10

J5

11194

Установка двухроторного насоса между высоковакуумным и форвакуумным насосами гарантирует непревышение предельного выпускного давления высоковакуумного насоса и повышает чувствительность системы течеискания при испытаниях с пробными газами гелием и аргоном. Это достигается тем, что масс-спектрометрический тече- искатель подключают на выходе двухроторного насоса, тем самым обеспечивается отбор телеискателем пробного газа повышенной концентрации.

0

5

5

.Q CQ

0

Формула изобретения

1.Способ контроля герметичности изделий, заключающийся в том, что размещают изделие 6 вакуумной камере, заполняют его пробным газом, откачивают камеру высоковакуумным средством откачки и дополнительно сжимают газ на выходе высоковакуумного средства, из объема дополнительно ; сжатого газа отбирают газ на масс-спектрометрический анализатор и измеряют изменение концентрации в нем пробного газа, по которому судят о герметичности изделия, отличающийс я тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем обеспечения контроля различных полостей многополостных изделий различными пробными газами, после измерения масс-спектрометрическим анализатором заполняют полость изделия электроотрицательным пробным газом, подают в камеру поток балластного газа, дополнительное сжатие газа осуществляют до рабочего давления газоразрядной камеры плазменного течёискателя, размещенной в объеме дополнительно сжатого газа, и измеряют изменение кон- дс центрации электроотрицательного пробного газа в этом объеме посредством плазменного течёискателя.

I

2.Способ по п.1,отлича torn, и и с я тем, что дополнительное сжатие осуществляют двухроторным вакуумным насосом.

5

Изобретение относится к контролю герметичности многополостных изделий и позволяет расширить технологические возможности способа путем обеспечения контроля различных полостей 1 многополостных изделий различными пробными газами. Заполняют полость изделия гелием, откачивают вакуумную камеру высоковакуумным средством откачки и дополнительно сжимают газ на его выходе двухроторным вакуумным насосом. Из объема сжатого газа отбирают газ в масс-спектро- метрический анализатор и измеряют изменение концентрации гелия, по которому судят о герметичности полости. Заполняют другую полость изделия эле- газом, подают в камеру поток балластного газа и устанавливают давление в объеме дополнительно сжатого газа, равное рабочему давлению газоразрядной камеры плазменного течеискателя, размещенной в этом объеме. Измеряют изменение концентрации элегаза плазменным течеискателем и по нему судят о герметичности полости. 1 з.п.ф-лы. (Л