Устройство для дискретного регулирования расхода газа Советский патент 1988 года по МПК G05D7/00 

4ik 4:;.

Изобретение относится к области автоматического регулирования и может использоваться в машинах и аппаратах различного назначения, например в производстве полупроводниковых структур. Цель изобретения - повьше- ние быстродействия и расширение области применения устройства для дискретного регулирования расхода газа. Устройство содержит корпус в виде о основания 1 с входным каналом 2 и фланцами 3 и установленных на фланцах прижимов 8 с отверстиями 9. Между каждым фланцем и прижимом размещена упругая прокладка в виде пластины 6с жиклером 7. }Киклеры образуют ма- газни сопротивлений, а величины проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знаменателем 2. Пластины 6 установлены с возможностью возвратно-поступательного перемещения и снабжены каждая приводом в виде оппозитно расположе 1ных электромагнитов , сердечники которых соединены с пластинамиi причем в одном из крайних положений пластин входной канал соединен с выходным отверстием через жиклер, а в другом крайнем положении входной канал и выходное отверстие разделены пластиной. 3 ил. с $ (Л

//T-V

Фие

Фие.1

1

Изобретение относится к автоматическому регулированию и может исполь зоваться в машинах и аппаратах различного назначения.

Цель изобретения - ловьшение быстродействия и расширение области применения устройства.

На фиг,1 и 2 показано устройство общий вид; на фиг.З - разрез А-А на .фиг. 1 .

Устройство содержит корпус в виде основания 1 с входным каналом 2 и фланцами 3, к основанию присоединен штуцер 4 для подвода газа, а во фланцах 3 вьшолнены проточки, соединенные отверстиями 5 с входным каналом 2. В каждой проточке размещена упругая прокладка в виде пластины 6 с жиклером 7, Жиклеры образуют магазин сопротивлений, причем величи й 1 проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знамен .телем 2. Пластины 6 поджаты прижимами 8, в которых выполнеК) выходные отверстия 9. Равномерность поджатия обеспечивается пружинами 10. В прижимах 8 установлены с уплотнением штуцеры 11 для отвода газа к потребителю, например к рабочей камере диффузионной камеры. Центровка приж мов относительно фланцев обеспечивается штифтами 12. Пластины 6 устано лены с возможностью возвратно-поступательного перемещения и снабжены каждая приводом в виде оппозитно ра положенных электромагнитов 13 и 14, сердечники 15 и 16 которых соединен с пластинами, причем в одном из краних положений пластины 6 входной канал 2 и выходные отверстия 9 прижима 8 соединены через жиклер 7, а в другом .крайнем положении пластины 6 входной канал 2 и выходное отверсти 9 прижима 8 разделены пластиной 6. Устройство может быть разделено на

0

5

0

5

0

5

40

45

единичные модули 1, II,... и т.д., закрепленные на общей плите.

Устройство работает следующим образом.

Заданньй расход газа обеспечивается включением соответствующих электромагнитов, перемещающих в открытое положение требуемый набор жиклеров, параллельно подключенных к входному каналу. Диапазон регулирования расхода определяется диаметрами проходных отверстий и количеством жиклеров.

Формула изобретения

Устройство для дискретного регулирования расхода газа, содержащее корпус и магазин сопротивлений в виде размещенной в корпусе упругой про;Ешадки с жиклерами, отличающееся тем, что, с целыо повьше- ния быстродействия и расширения области, применения устройства, корпус выполнен в виде снабженного фланцами основания с входньм каналом и установленных на фланцах прижимов, снабженных выходными отверстиями, причем упругая прокладка выполнена в виде ; Пластин, которые размещены между флай- цами и прижимами с возможностью воз- вратно-по.ступательного перемещения, жиклеры установлены в пластинах, а величины проходных сечений жиклеров образуют геометрическую прогрессию со знаменателем 2, каждая пластина снабжена приводом в виде оппозитно расположенных электромагнитов, сердечники которых соединены с пластиной, при этом в одном из крайних положений пластины входной канал соедй нен с выходным- отверстием через жиклер, а в другом крайнем положении пластины входной канал и выходное o-d- верстие разделены пластиной.

Фие,2 A-A