Раствор для травления покрытий из нитридов и карбонитридов титана Советский патент 1989 года по МПК C23F1/30 

Изобретение относится к химической обработке металлических поверхностей, в частности к химическому удалению металлидных покрытий, и может быть использовано в различных отраслях промьшшенности, например ювелирной и часовой.

Целью изобретения является интенсификация процесса травления покрытии из нитридов и карбонитридов титана и исключение растравливания подслоя хрома и материала основы.

Раствор готовят смешиванием компонентов .

Составы растворов для травления представлены в табл. 1.

На пластины из латуни ЛС-59 размером 20 к 20 мм наносится слой гальванического хрома толгщной 3-5 мкм и покрытие, из карбонитридов и нитридов титана с помощью испарения титана электрической вакуумной дугой в

атмосфере ацетилена или азота (на установке УРМЗ 279.048).

С помощью спектрофотометра СФ-10 определяется коэффициент отражения хромированных пластин из латуни. Также проводится визуальный осмотр к,гж- дой пластины с покрытием из хрома .и определяется ее вес. Затем на установке 01-НИ-6-008 (УРМЗ 279.048) наносится нитрид или карбонитрид титана. Далее пластины с покрытием Сг + TiN или Сг + TiCN травятся в .разных растворах (согласно табл. 1). Конец травления определяется визуально по изменению цвета покрытий, время травления фиксирус -ся секундомером. В заключение на пластинах со стравленным покрытием (из нитрида или карбонитрида титана) определяются коэффициент отражения, внешний вид и вес.

31А

Результаты экспериментов приведены в табл.2.

На пластинах, обработанных в растворе 1, наблюдается равномерная матовая поверхность серого цвета с отдельными мелкими островками из не- удаленных соединений титана. После травления коэффициент отражения уменьшается с 88 до 51%.

При обработке деталей в растворе 2 поверхность хрома после травления равномерная блестящая, не требует последующей полировки. Блеск (коэффициент отражения) покрытия и вес образцов не изменяются. Снятие покрытий в растворе 3 (без добавок фторида натрия и уротропина) и в растворе 4 (содержание фторида натрия больше 0,1%э уротропина - больше 0,03%) приводит к неравномерному растравливанто хромового покрытия, что особенно заметно на острых углах, а через поры покрытия и самой основы. Блеск покрытий резко ухуд- шается. Образцы к дальнейшему использованию не пригодны.

Далее проводят испытания травиль- ных растворов, состав которых рриве- ден в табл. 3, для удаления покрытий из нитридов и карбонитридов титана с корпусов браслетов часов, изготовленных из латуни ЛС-ЗЭ, и корпусов часов, изготовленных из нейзильбера с гальваническим покрытием : сромом 4-6 мкм.

На детали наносят покрытия из нитридов и карбонитридов титана 0,5 мкм методом ионно-плазменного напыления в ваку;, на установке УРМЗ 279.048. Химическое травление проводят при комнатной температуре на установке УЛУГ-2Мо

Полученные результаты даны в табл. 4 (номер раствора для травления соответствует номерам в табл.3). Скорость травления покрытия определяют расчетньм путем с помощью измерения средней толщины покрытия на микроинтерферометре Interfaco-2F. Полноту снятия покрытия контролиру- ; ют по изменению коэффициента отраже- Ьим, который измеряют на спектрофотометре СФ-10 на деталях до нанесения ионно-плазменного покрытия и после завершения процесса травления. , . На деталях, обработанных в предлагаемом растворе, покрытие удалено полностью, признаков растравливания

1

хромового подслоя и материала основы не обнаружено, величина коэффициента отражения поверхности до травления и после не меняется. В случае удаления покрытий в известном растворе величина коэффициента отрлжения уменьшается с 88 до 51%. Скорость травления покрытия в предлагаемом растворе в 100 раз больше, чем в известном.

Таким образом, в сравнении с известным предлагаемый раствор позволяет интенсифицировать процесс травления нитридов и карбонитридов титана, исключая растравливание хромового подслоя и материала основы.

Формула изобретения

Раствор для травления покрытий из нитридов и карбонитридов титана преимущественно по подслою хрома, содержащий азотную дсислоту и воду, отличающийся тем, что, с целью интенсификации процесса и исключения растравливания подслоя хрома, он дополнительно содержит фтористоводородную кислоту, фторид натрия и уротропин при следующеь соотношении компонентов, мас.%:

Фт орис товодородная кислота

Азотная кислота Фторид натрия Уротропин Вода

75-85 8-12

0,08-0,1 0,02-0,03 Остальное

40

Таблица 1

1470811

Таблица 3

Изобретение относится к химической обработке металлических поверхностей, а именно к химическому травлению покрытий из нитридов и карбонитридов титана. Целью изобретения является интенсификация процесса травления покрытий и исключение растравливания подслоя хрома и материала основы. Химическое травление осуществляется в растворе при следующем соотношении компонентов, мас.%: фтористоводородная кислота 75-85

азотная кислота 8-12

фторид натрия 0,08-0,1

уротропин 0,02-0,03, вода остальное. 4 табл.