Способ определения технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса Советский патент 1989 года по МПК F04D5/00 

1

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано при определении технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса.

Цель изобретения - повышение точности.

На чертеже приведен турбомолекулярный насос, продольный разрез.

Турбомолекулярный насос содержит корпус 1, ротор 2, магнитный подшипник 3, пару трения - гибкий стержень 4 с опорой 5, установленную в гидравлическом демпфере 6, стакан 7 демпфера установлен на подпятнике 8, в который вмонтирован тензо- метрический датчик 9, измеряющий осевое усилие от ротора 2 на опору 5.

Техническое состояние вертикального турбомолекулярного насоса определяют путем измерения уровня его вибрации, причем дополнительно измеряют осевое усилие, действующее от ротора 2 на его опору 5, и по его изменению судят о техническом состоянии насоса.

При возрастании усилия на опору 5 свыше критической величины делают вывод о необходимости остановки насоса с целью его ремонта и восстановления работоспособного состояния.

&

(Л

Формула изобретения

Способ определения технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса путем измерения уровня его вибрации, отличающийся тем, что, с целью повышения точности, дополнительно измеряют осевое усилие, действующее от ротора на его опору, и по его изменению судят о техническом состоянии насосов.

4 1

оэ

5 j

Изобретение позволяет повысить точность определения технического состояния вертикального турбомолекулярного насоса. Измеряют уровень вибрации насоса. Дополнительно измеряют осевое усилие, действующее от ротора к его опоре. По изменению осевого усилия судят о техническом состоянии насоса. 1 ил.