Вертикальный турбомолекулярный насос Советский патент 1984 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике. По основному авт.св. № 737657 известен вертикальный турбомолекулярный насос, содержащий корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижное кольца, причем на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан, со стороны, противоположной подшипнику на неподвижном кольце последнего втулка, а вдоль оси внутренней полос ти ротора установлен при помощи упругих опор невращающийся стержень концы jcoToporo снабжены шаровыми опорами, образующими шарнирные соединения с втулкой неподвижного коль ца и со стаканом Л. Недостаток известного насоса проявляется в нарушениях стабильности динамической уравновешенности ротора при внешних унарных и вибрационных нагрузках что приводит к необходимости прерьгоания технологического процесса. Отказы и аварийные состояния турбомолекулярных насосов при воздействии внешних динамических нагрузок вызываются нарушением контактов и необходимого трения между поверхностями шаровых опор и втулок и появлением люфта в подшипнике ротор Цель изобретения - повышение надежности работы путем стабилизации динамической уравновешенности ротора Указанная цель достигается тем, что в вертикальном турбомолекулярном насосе, содержащем корпус и расположенный в нем ротор с внутренней полостью, установленный на подшипни ке, имеющем подвижное и неподвижное кольца, причем на внутренней поверхности корпуса закреплен стакан, со стороны, противоположной подшипнику на неподвижном кольце последнего втулка, а вдоль оси внутренней полости ротора установлен при помощи упругих опор невращающийся стержень концы которого снабжены шарнирными опорами, образующими шарнирные соед

нения со втулкой неподвижного кольца и со стаканом, ротор снабжен дополнительным псдщипником с подвижным и неподвижным кольца ш, последнее из которых установлено на втулке с возможностью осевого перемещения.

щающегося стержня с втулкой и стаканом и усилий аксиального нагружения неподвижных колец подшипников относительно вращакицихся как в отсутствии внешних сил, так и при их действии. а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладышем. На чертеже изображен предлагаемый насос, продольный разрез. Вертикальньй турбомолекулярньй насос содержит корпус 1 и расположенный в нем ротор 2 с внутренней полостью, установленный на подшипнике, имеющем подвижное и неподвижное кольца 3 и 4. На внутренней поверхности корпуса 1 закреплен стакан 5, со стороны, противоположной подшипнику, на неподвижном кольце 4 последнего - втулка 6, а вдоль оси внутренней полости ротора 2 установлен при помощи упругих опор 7 невращающийся стержень 8, концы которого снабжены шаровыми опорами 9 и 10, образующими шарнирные соединения с втулкой 6 неподвижного кольца 4 и со стаканом 5. Ротор 2 снабжен дополнительным подшипником с подвижным и неподвижным кольцами11 и 12, последнее из которых установлено во втулке 6 с возможностью осевого перемещения, а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладьшхем 13. Для вьйорки осевых люфтов в подшипниках и создания контактных усилий в шарнирном соединении втулки 6 с невращаюпщмися стержнем 8 меяаду шарнирным соединением и втулкой 6 устанавливается пружина 14. Насос работает следующим образом. При вращении ротора 2 стержень 8 позволяет занять ему устойчивое положение. Введение в подвеску ротора 2 дополнительного подшипника, неподвижное 12 которого опирается на шаровую опору 9, и снабжение шарнирных соединений демпфирующими вкладьш1ами 13 позволяет сохранить плотность контактов как в подшипниках ротора 2, так и в шарнирном соединении невращающегося стержня 8 со втулкой 6. Таким образом, предлагаемая конструкция насоса позволяет обеспечить постоянство контактных усилий и трения шарнирных соединений невра

ВЕРТИКАЛЬНЫЙ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС по авт.св. № 737657, отличающийся тем, что, с целью повьппения надежности работы путем стабилизации динамической уравновешенности ротора, последний снабжен дополнительным подшипником с подвижным и неподвижным кольцами, последнее из которых установлено во втулке с возможностью осевого перемещения , а каждое шарнирное соединение снабжено демпфирующим вкладышем.