Устройство для контроля шероховатости зеркальных поверхностей Советский патент 1989 года по МПК G01B11/30 

47

4ь

00

ел

со

00

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля шероховатости зеркальных поверхностей.

Цель изобретения - повышение чувствительности и производительности контроля за счет многократного отражения, что дает последовательную перекачку энергии из зеркальной компо- ненты в рассеянную, и исключения процедуры юстировки.

На чертеже изображена принципиальная схема устройства для контроля шероховатости зеркальных поверхнос- тей„

Устройство содержит последовательно расположенные лазер 1, гибкий световод 2, линзу 3, диафрагму 4, систему зеркал, состоящую из двух зеркал-объективов 5 и 6 и одного зеркала-коллектива 7, собирающее зеркало 8 с отверстием и два фотоприемника 9 и 10, вырабатывающие сигналы, пропорциональные интенсивности зер- кальной и рассеянной компоненты излучения соответственно., Дифрагма 4 оптически сопряжена с отверстием собирающего зеркала 8„

Устройство работает следующим об- разом.

Луч света от лазера 1 падает на входной торец гибкого световода 2 и дает яркое световое пятно на его выходном торце Линзой 3 световой конус, выходящий с торца гибкого световода 2, собирается на отверстии диафрагмы 4, падая далее на контролируемую поверхность 11. Отражаясь от контролируемой поверхности 11, световой пучок попадает на зеркало-объектив 5, которое его фиксирует после отражения от контролируемой поверхности 11 на зеркале-коллекторе 7 „ Последнее через контролируемую поверхность 11 посылает световой пучок на зеркало-объектив 6, которое после отражения от контролируемой поверхности 11 фокусирует его в центре выходного отверстия собирающего зеркала 8„ При этом зеркальная компонента проходит через отверстие со

5

0 5

Q

д

5

0

бирающего зеркала 8 и регистрируется фотоприемником 9, а рассеянная компонента, распределенная по поверхности собирающего зеркала 8, посылается им на фотоприемник 10„ По отношению сигналов, поступающих с фотоприемников 9 , можно судить о величине шероховатости контролируемой поверхности 11 по сравнению с эталонным образцом.

Зеркала-объективы 5 и 6 и зеркало- коллектив 7 являются идентичными и их радиус кривизны равен удвоенному расстоянию от них до контролируемой поверхности 11„ При этом изменение относительного углового положения системы зеркал 5 - 7 и контролируемой поверхности 11 не сказывается на положении светового пучка относительно выходного отверстия собирающего зеркала 8„

Устройство позволяет, благодаря малым размерам и весу измерительной головки, основную массу которой составляют зеркала 5-8 вместе с ее корпусом, и нечувствительности к нарушению юстировки контролируемой поверхности 11 вести контроль шероховатости непосредственно на рабочем месте при простом наложении измерительной головки на контролируемую поверхность 11.

Формула изобретения

Устройство для контроля шероховатости зеркальных поверхностей, содержащее лазер, собирающее зеркало с отверстием и два фотоприемника, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности и производительности контроля, оно снабжено гибким световодом, линзой и диафрагмой, последовательно установленными по ходу излучения за лазером, тремя зеркалами в виде двух объективов и одного коллектива, расположенными в одной плоскости с собирающим зеркалом и диафрагмой, оптически сопряженной с отверстием собирающего зеркала.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано ,в частности, для контроля шероховатости зеркальных поверхностей. Целью изобретения является повышение чувствительности и производительности контроля за счет многократного отражения, что даст последовательную перекачку энергии из зеркальной компоненты в рассеянную, и исключения процедуры юстировки. Устройство содержит последовательно расположенные лазер 1, гибкий световод 2, линзу 3, диафрагму 4, систему зеркал, состоящую из зеркал-объектов 5 и 6 и зеркала-коллектива 7, собирающее зеркало 8 с отверстием и фотоприемники 9 и 10, вырабатывающие сигналы, пропорциональные интенсивности зеркальной и рассеянной компоненты излучения соответственно. Диафрагма 4 оптически сопряжена с отверстием собирающего зеркала 8. 1 ил.