Интерференционный способ определения геометрических размеров объектов Советский патент 1989 года по МПК G01B11/16 

Изобретение относится к измерительной технике к определению геометрических раз меров объектов оптическими методами

Цель изобретения - обеспечение определения размеров прозрачных объектов посредством совместного использования интерференции в монохроматическом и белом свете

На фиг 1 приведена схема хстройства, реализующая предложенный способ, на фиг 2 - эпюры полос интерференции в монохроматическом (вниз) и белом (вверху) свете

Устройство выполнено по схеме интерферометра Майкельсона и содержит источник

1монохроматического ( Я) света, источник

2белого ( ii ) света, по ход лучей которых расположены светоделительный элемент 3, эталон 4 Фабри Перо, референтное зеркало 5, счетчик 6 полос Эталон 4 Фабри- Перо и референтное зеркало 5 находятся в

референтном п 1ече интерферометра а объ ем 7 - в рабочем

Изобретение ос ществтяется е ie тд ющи образом

Устанавливают объект 7 измерения в ра бочем плече интерферометра (ф|м 1) Hept мещают объект 7 измерения пара i штьно его оси Фиксир ют начало и конец измере ний по возникновению ахроматической ин терференционной картины в белом свете (фиг 2) Производят счет си налов (иьтер ференционныч полос) монохроматического излечения, кладывающичся в промежутке между CHI налами в белом свете (фиг 2) Определяют размер объекта по общемч коли честву пол ченныч иитерференционныч по лос монохроматического изпчечия

При необходимости измерения объектов 7 с размерами, превышающими размер ре ферентного п 1еча интерферометра, исполь зуется многократное отражение бею

оо

СО tsS

СО

го света от полупрозрачных плоских зеркал эталона 4 Фабри-Перо, что увеличивает дискретно оптическую длину референтного плеча на величину, кратную размеру эталона 4 Фабри-Перо.

Формула изобретения

1. Интерференционный способ определения геометрических размеров объектов, заключающийся в том, что объект помещают в рабочее плечо интерферометра, направляют в интерферометр монохроматический свет и по количеству полуволн света, укладываю

обеспечения определения размеров прозрачных объектов, дополнительно направляют в интерферометр белый свет, объект перемещают вдоль направления луча света, а количество полуволн монохроматического света определяют между импульсами белого света, соответствующими ахроматическим интерференционным картинам, образованным границами объекта.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью обеспечения определения размеров объектов, превышающих длину референтного плеча интерферометра, увеличивают длину референтного плеча посредством разме

Изобретение относится к измерительной технике, к определению геометрических размеров объектов оптическими методами. Цель изобретения - обеспечение определения размеров прозрачных объектов посредством совместного использования интерференции в монохроматическом и белом свете. Способ осуществляется следующим образом. Устанавливают объект измерения в рабочем плече интерферометра, перемещают объект параллельно его оси, фиксируют начало и конец измерений по возникновению ахроматической интерференционной картины в белом свете, производят счет интерференционных полос монохроматического излучения, укладывающихся в промежутке между сигналами в белом свете, определяют размер объекта по общему количеству полученных интерференционных полос монохроматического излучения. 1 з.п. ф - лы, 2 ил.

/УААААД 1ЛЛА/1

Составитель Б. Евстратов

Редактор И. СегляникТехред И. ВересКорректор Э. Лончакова

Заказ 2814/36Тираж 683Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская, наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат «Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Фиг.1

Физ.2