ПРИБОР ДЛЯ ПОВЕРКИ И АТТЕСТАЦИИ КРИВОЛИНЕЙНЫХ ЭВОЛЬВЕНТНЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ Советский патент 1971 года по МПК G01B9/02 

Изобретение относится к области машиностроения, в частности, к измерительной технике для линейно-угловых измерений и может быть применено при контроле -и аттестации рабоч.их профилей образцовых эвольвентных кулаков, зубьев зубчатых колес и других изделий.

Известен прибор для поверки .и аттестации криволинейных эвольвентных новерхносте, содержащий две системы, одна из которых предназначена для измерения полярного угла, а другая - для измерения радиуса-вектора.

Предлагаемый прибор отличается от .известного тем, что с целью повышения точности и производительности поверки системы вылолнены в виде двух совместно работа1от.их интерферометров с эталонами Фабри-Перо, а .интерферометр для измерения нолярного угла снабжен светоделительным элементом, образующим два иараллельных рабочих плеча ийтерферометра, и .компенсаторами, установленными в этих плечах.

На фиг. 1 и фиг. 2 изображена нрннциннальная схема предлагаемого прибора.

Прибор содержит интерферометр для ,измерения полярного угла, включающий в себя источник / света, поворотный столик 2, на котором установлены уголковые отражатели 3, ком.пенсаторы 4, нредставляюиаие собой две Плоские клиновидные нластины, светоделительный элемент 5 в в,нде призмы Кестерса; иитерферометр для измерения радиуса-вектора, включающий в себя источник 6 света, светоделительное устройство 7 (делительный кубик), зеркала 8 и 9, объектив 10, окулярный микрометр //; эталоны 12 и 13 ФабриПеро, установленные для двух нлечей в пучке белого света обоих интерферометров; зрительную трубу, состоящую из объектива 14, окуляра 15 и щели 16. Кроме того, прибор имеет поверяемый профиль 17.

Работает предлагаемый прибор следующим образом.

От источников 1 п 6 света параллельные нучкн белого света поступают на эталоны фабрн-Перо, с размерами /i - для интерферометра измерения полярного угла и для интерферометра измереиия радиуса-вектора, благодаря чему можно наблюдать интерференционные картины в белом свете при разностях хода 0,2 f, 4/, ..., 2 nt (где п 0, 1, 2 ...).

Таким образом, образуется «интерференционная щкала с нитервалом делений в 2t, реалнзуемая ахроматическими полосами переналожения; далее, попадая на светоделительный элемент 5 и светоделительный кубик 7, каждый луч разделяется на две составляющих. Пз светоделительиого элемента 5 в виде приз.мы Кестерса онн выходят двумя параллсльнымн лучами, каждый из которых, пройдя компенсатор 4 и попадая на уголковые отражатели 3, возврап1ается в светоделительнын элемент 5 и затем в зрителвпую трубу, где п наблюдается интерференционная картина. За счет поворота компенсатора вокруг оптпческо осн лгогут быть исключены иогрешиости :31отовления и склейки светоделнтельного элемента 5 ( Кестерса), а также обеснечивается оптимальная интерференциониая картнна (в части ширины и направления И1Г1е;)ферепцнонных полос). При этом iioiicрязмый профиль 17 (в сечении-эвольвента), последовательные положения которого определяются угловым шагом Дер, является отражающей поверхностью в рабочем нлече интерферометра типа Майкельсона, поворачиваюн1,ейся вокруг оси О вместе со столиком 2.

В интерферометре для измерения радиусавектора из делительного кубика 7 выходят два взаимно перпеидпкулярных луча, один из которы.х попадает на зеркало 5 постоянного нлеча (референтное зеркало), а другой на отражаю1цую поверхпость проверяемого профиля 17.

Отраженные лучи, пройдя светоделительный кубик 7, направляются в оптическую систему, состоящую из объектива 10, зеркала 9

и окулярного микрометра //, где наблюдается иитерференциоииая картина и нроизводится объективный отсчет иогрешпости проверяемого профиля /7.

Таким образом, измерения сводятся к гдинственному неремещению - вращению новеряемого профиля вокруг оси, а интерферометры показывают отклонения реального профиля от теоретического непосредственно в длинах световых 1ВОЛН, что значительно упрои1.ает процесс измерения, поБьпнает его точность И производительность.

Предмет изобретения

Прибор для поверки и аттестации криволинейных эвольвентных поверхностей, содержаший две системы, одна из которых предиазиачена для измерения полярного угла, а другая - для измерения радиуса-вектора, отличающийся тем, что, с целью повышепия точпости п нроизводительиости иоверки, системы вынолнены в виде двух совместно работаюнигх интерферометров с эталонами Фабри-Перо, а интерферо.метр для измереTiHH полярного угла снабжен светоделительным эле.ментом, образующим два параллельных рабочих плеча интерферометра, и компенсаторами, установленными в этих нлечах.