УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ Советский патент 2005 года по МПК C23C14/24 C23C14/50 

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее кассетодержатель с кассетами, подложкодержатель, установленный в кассетах, и механизм поворота, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, расширения функциональных возможностей и повышения производительности, кассетодержатель снабжен двумя проушинами и одним подпружиненным фиксатором для каждой кассеты, кассета снабжена роликом, рамками и двумя опорами, входящими в проушины кассетодержателя, причем кассета установлена с возможностью углового перемещения относительно кассетодержателя, при этом каждый подложкодержатель установлен в рамке со смещением центра тяжести относительно оси поворота, а механизм поворота снабжен толкателем и выполнен в виде направляющих для опускания и подъема кассет, установленных с возможностью перемещения по ним ролика кассеты при вращении кассетодержатель вокруг своей оси, причем толкатель выполнен с возможностью контактирования с фиксаторами.