Прибор для контроля глубины снимаемого слоя в процессе размерного травления Советский патент 1962 года по МПК G01B7/26 

Изпгстны приборы для контроля глубины снимаемого слоя в процессе размерного травления, состоящие из неподвижного магнитопровода с катушками и подвижного якоря, связанного с измеряемым объектом и расположенного между сердечниками катушек. Измеряемая этими приборами величина ограничена пределами допустимого перемешения якоря между сердечниками катушек.

Предложен прибор, в котором электромагнит датчика связан с электродвигателем при помощи микрометрического винта. Это обеспечивает восстановление баланса моста и измерение больших глубин травления.

На чертеже приведена схема предложенного прибора.

Он включает в себя два основных узла - измерительную головку / и пульт 2.

Измерительная головка состоит из индуктивного датчика - подвижного магнитопровода 5 и сердечника 4, катушек 5, микровинта 6, электродвигателя 7 с редуктором и измерительного наконечника 8. Последний механически связан с сердечником 4 индуктивного датчика, а подвижной магнитопровод 3 укренлен на микрогайке Я которая перемещается по микровинту 6 при вращении его от электродвигателя 7.

При измерении глубины стравливаемого слоя металла измерительный наконечник 8 опускается; при этом в электронном мосту, состоящем из двух катушек 5, индуктивного датчика и двух сопротивлений 10, нарушается равновесие. Импульс от разбаланса моста через усилитель, расноложенный на нульге 2, подается на электродвигатель 7, который начинает вращаться и перемещать связанный с ним при помощи микрометрического винта электромагнит индукционного датчика, и мост автоматически уравновешивается.

При вращении электродвигателя также перемещаются щетки электроконтактной группы 11, которые замыкают определенные контакты и на щкале пульта 2 загораются лампочки, указывая глубину замера.

Предложенный прибор позволяет измерить глубину травления до 4 мм, а увеличивая длину микрометрического винта, можно увеличить и глубину замера.

Предмет изобретения

Прибор для контроля глубины снимаемого слоя в процессе размерного травления, состоящий из индуктивного датчика, электронного саморегулирующего моста, измерительного стержня и редуктора, отличающийся тем, что, с целью восстановления баланса моста и измерения больших глубин травления, электромагнит датчика связан с электродвигателем при номоши микрометрического винта,