Устройство для калибровки вакуумных течей Советский патент 1989 года по МПК G01L27/00 

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для калибровки поверки течей, применяемых в технике течеискания.

Целью изобретения является повьш е- ние точности калибровки течей.

На чертеже изображена схема устройства для калибровки вакуумных течей.

Устройство содержит вакуумную камеру 1 с присоединенным к ней образ-, цовьм вакуумметром 2, Через двухходовой кран 3 к камере присоединены кллибруемая течь 4 и дополнительная течь 5, идентичная калибруемой течи.

Клапан 6 и вакуумный насос 7 служат для откачки камеры.

Устройство работает следующим образом.

После предварительной откачк-и ка- меры 1 и течей 4 и 5 до предельного остаточного давления РО, измеряемого по вакуумметру 2, устанавливают в момент времени t, кран 3 в среднее положение. С этого момента начинается накопление газа в объемах крана 3 и течей 4 и 5. При достаточно длительном пр-оцессе накопления газа вакуумная камера 1 отключена. Затем камеру 1 откачивают до давления Р, ,

сл

о

00

со

4

закрывают клапан 6 и открывают кран

3:

сначала в момент времени t на

При достаточно длительном процессе накопления газа

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для калибровки с повышенной точностью вакуумных течей, применяемых в технике течеискания. К откачиваемой камере 1 известного объема с присоединенными к ней образцовым вакуумметром 2 и калибруемой течью 4 с пробным газом присоединяются также дополнительная течь 5, идентичная калибруемой, но без пробного газа, и двухходовой кран 3 , причем калибруемая и дополнительная течи подсоединены к камере через входы двухходового крана, выход которого соединен с откачиваемой камерой. Одновременное и отдельное натекание в камеру газа от калибруемой и дополнительной течей завершается поочередным измерением давления в камере при обоих рабочих положениях крана. Это позволяет исключить систематические погрешности, связанные с фоновыми побочными потоками различных газов, возникающими вследствие десорбционных процессов, а также из-за натеканий извне, что в свою очередь, повышает общую точность калибровки вакуумных течей. 1 ил.

калибруемую течь 4, а потом после вторичной откачки камеры 1 до давления Рр (и закрытия клапана 6) в момент времени t на дополнительную течь 5.

При открытии крана 3 на течь 4 давление Р , устанавливающееся в объеме V, равно

Р

PC

212

(f- to),

(1)

где q - побочный поток любых газов, вьщелившихся из стенок объемы накопления; О - поток пробного газа. При открытии крана 3 на течь 5 давление Р, устанавливающееся в обьеме V, равно

Р РО -V о. 2)

где Р и Р 7 давления измеряющиеся по образцовому вакуумметру 2.

Совместное рещение уравнений (1) и (2) дает формулу для искомого по- тока пробного газа Q течи 4:

п ( Pl:-Pi t -t« -f - t«

i

)

(3)

dt t to-t - t.

О

Zil-P,

Zt

(4)

Повторив несколько раз измерения, определяют среднее значение потока О и принимают его в качестве номинального значения калибруемой течи.

Формула изобретения

Устройство для калибровки вакуумных течей, содержащее вакуумную камеру, калибруемую течь с пробным газом, образцовый вакуумметр, клапан и вакуумный насос, причем калибруемая течь и образцовый вакуумметр подсоединены к вакуумной камере, к которой через клапан подсоединен вакуумный насос, отличающее- с я тем, что, с целью повышения точности калибровки, в него дополнительно введены двухходовой краН и дополнительная течь, идентичная калибруемой, не содержащая пробного газа, при этом обе течи подсоединены к вакуумной камере через двухходовый кран. .