Способ градуировки вакуумметров Советский патент 1988 года по МПК G01L27/00 

4.

4i

ЬО

Hiii

to

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для определения метрологических характеристик рабочих вакуумметров.

Целью изобретения является расширение диапазона градуировки..

На чертеже изображена схема вакуумной системы, реализующей предлагаемый способ градуировки вакуумметров

Вакуумная система включает граду- ировочную камеру 1 (объема V), к которой присоединены образцовый манометр 2, измеряющий сравнительно высокие давления, и градуируемый ваку- умметр 3, измеряющий сравнительно низкие давления. В камеру 1 через элемент 4 малой проводимости подают градуировочньй газ из резервуара 5. С другой стороны, камера I через по- .следовательно расположенные клапан 6 и диафрагму 7 известной проводимости V (для молекулярного режима) откачивается вакуумным насосом 8, причем

V-77Vo.

Предложенный способ реализуется в следующей последовательности.

После предварительной откачки системы из резервуара 5,где газ с давленем РО , подают градуировочный газ,а по еле установления равновесия между до- стзтлением газа в камеру 1 из резервуара 5 через элемент 4 малой проводимости Vp и откачкой газа насосом 8 че

тельно высокое конечное давление Р, в камере 1 по образцовому манометру

PoVo( )

РК

V

(2а)

Сопоставляют показание градуируемого вакуумметра 3 с расчетным значением давления Р, получаемым совместным решением уравнений (l) и (2а), в результате имеем

р- P.V

-

(3)

Повторяют описанные операции для других значений давления Р. Воспроизведение множества этих значений возможно путем регулирования давления Рр или проводимости YO, или обеих величин вместе.

Таким образом, осуществляется градуировка вакуумметров независимо от режима течения газа через элемент малой проводимости. Это позволяет расширить диапазон градуировки в сторону высоких давлений, причем расширенный диапазон ограничен сверху давлением, при котором соблюдается молекулярный режим в диафрагме проводимости V. Формула изобретения

Способ градуировки вакуумметров путем воспроизведения и расчета давления и сопоставления его с показани

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для определения метрологических характеристик рабочих вакуумметров. Целью изобретения является расширение диапазона градуировки в сторону высоких давлений. В камере 1 с присоединенными градуируемым 3 и образцовым 2 вакуумметрами воспроизводят давление путем откачки насосом 8 через диафрагму 7 известной проводимости и одновременной подачи газа через элемент 4 меньшей проводимости из резервуара 5 с известным давлением газа. После установления равновесия между поступлением газа в камеру 1 и откачкой снимают показания градуируемого вакуумметра 3, перекрывают кран 6 откачки и в течение фиксированного времени измеряют сравнительно высокое давление по образцовому вакуумметру 2 и рассчитывают значения давления,- с которыми сопоставляют показания градуируемого вакуумметра 3. 1 ил. Ф (Л

рез клапан 6 и диафрагму 7 с проводи- 35 ями градуируемого вакууадетра в камостью V производят отсчет показания градуируемого вакуумметра 3, соответствующего давлению Р. Равновесное течение газа контролируется по неизменмер е известного объема с присоединенным градуируемым вакуумметр,ом, откачиваемой через диафрагму изрест- ной проводимости, при подаче газа в

ности показания градуируемого вакуум- 40 нее из резервуара и с известным давметра. Данный процесс описывается уравнением

лением газа через элемент меньшей проводимости, чем проводимость диаф- рагмы, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона градуировки в сторону высоких давлений, воспроизведение давления в камере производят после отсчета показания градуируемого вакуумметра, соответствующего равновесию поступления и откачки газа, контролируемого по неизменности показаний градуируемого вакуумметра, путем прекращения откачки камеры и накопления газа, продолжающего поступать в камеру, в течение фиксированного интервала времени, по истечении которого произвр- дят измерение конечного сравнительно высокого давления по образцовому манометру, присоединенному к камере.

Р -- - Р V °

(1)

где проводимость элемента 4 V является непостоянной величиной, так как течение газа через него происходит в молекулярно-вязкостном режиме.

Не изменяя потока газа, поступающего в камеру 1, перекрьшают .ее откачку путем закрытия клапана 6 и, начиная с этого момента to, производят отсчет времени t.Давление Р в камере возрастает согласно уравнению

р.. EiY it-to) (при р. :;pj.(2;

По истечении фиксированного интервала времени , измеряют сравнимер е известного объема с присоединенным градуируемым вакуумметр,ом, откачиваемой через диафрагму изрест- ной проводимости, при подаче газа в

5

0

5

лением газа через элемент меньшей проводимости, чем проводимость диаф- рагмы, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона градуировки в сторону высоких давлений, воспроизведение давления в камере производят после отсчета показания градуируемого вакуумметра, соответствующего равновесию поступления и откачки газа, контролируемого по неизменности показаний градуируемого вакуумметра, путем прекращения откачки камеры и накопления газа, продолжающего поступать в камеру, в течение фиксированного интервала времени, по истечении которого произвр- дят измерение конечного сравнительно высокого давления по образцовому манометру, присоединенному к камере.