Устройство для испытаний изделий на герметичность Советский патент 1989 года по МПК G01M3/02 

/2

/

/V

/3-4

о

3150

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектро- метрическим методом.

Цель изобретения - повышение про- изводительности испытаний путем снижения времени получения достоверного сигнала течеискателя,

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Устройство для испытаний изделий на герметичность содержит камеру 1 с расположенным внутри нее испытываемым изделием 2, соединенную через вентиль 3 с одним концом входной магистрали А, второй конец которой через вентиль 5 соединен с входом диффузионного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом адсорбционного насоса 8. Выход последнего через вентиль 9 соединен с входом масс-спектрометрической камеры 10, выход которой через вентиль 11 соединен с одним концом трубопровода 12, который через вентиль 13 соединен с механическим насосом 14, другой конец которого соединен с трубопроводом 4,

Устройство работает следующим образом.

Изделие 2 помещают в камеру 1, открывают вентили 3 и 13 и вакууми- руют камеру 1, магистраль 4 и трубопровод 12. Открывают вентили 7, 9, 11 и вккуумируют объемы насосов 6, 8 и масс-спектрометрической камеры 10. Закрывают вентиль 11, заливают в адсорбционный насос 8 жидкий азот и включают диффузионный насос 6. После выхода на рабочий режим диффузионного насоса 6 закрывают вентиль 13, открывают вентили 5 и П и заполняют изделие 2 контрольным

газом. Диффузионный насос 6 обеспечивает циркуляцию пробного газа, например гелия, а адсорбционный насос 8 поглощает все атмосферные газы, кроме гелия, и предохраняет масс- спектрометрическую камеру 10 от попадания в нее продуктов газовыделения нагретых поверхностей диффузионного насоса 6. Через масс-спект- рометрическую камеру 10 таким образом прокачивается пробный газ в концентрации, определяемой степенью сжатия диффузионного насоса. Позтому при поиске малых течей время получения достоверного сигнала течеискателя снижается во столько раз, во сколько парциальное давление пробного газа на выходе диффузионного насоса больще, чем его парциальное давление на входе.

Использование предлагаемого устройства позволит не менее чем в 20 раз повысить производительность испытаний.

Формула изобретения Устройство для испытаний изделий на герметичност}}, содержащее входную магистраль, диффузионный насос, адсорбционный насос, масс-спектромет рическую камеру, вход которой соединен с выходом адсорбционного насоса, и механический насос, вход которого соединен с входной магистралью, о т- личающееся тем, что, с целью повьшения производительности, вход диффузионного насоса соединен с входной магистралью, а выход - с входом адсорбционного насоса, выход масс-спектрометрической камеры соединен с входной магистралью и входом механического насоса.

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом и позволяет повысить производительность испытаний. Устройство содержит последовательно соединенные вакуумную камеру 1, диффузионный насос 6, адсорбционный насос 8, масс-спектрометрическую камеру 10 и механический насос 14. Входная магистраль 4 соединена с входом механического насоса 14 и выходом масс-спектрометрической камеры 10. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 8 многократно поглощает атмосферные газы, кроме водорода и гелия, в циркулирующем потоке и уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Устройство позволяет накапливать пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин потоков газа от течей. 1 ил.