Устройство для испытаний изделий на герметичность Советский патент 1987 года по МПК G01M3/02 

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектро- метрическим методом.

Целью изобретения является повышение чувствительности путем многократного вьщеления пробного газа из циркулирующего потока газов перед подачей его в масс-спектрометрическую камеру.

Устройство для испытания изделий на герметичность содержит камеру 1 с расположенным внутри нее испытываемым изделием 2, соединенную через вентиль 3 с одним концом входной маги.страли 4, второй конец которой через вентиль 5 соединен с входом адсорбционного насоса 6, выход которого через вентиль 7 соединен с входом масс-спектрометрической камеры 8 Выход последней через вентиль 9 соединен с входом диффузионного насоса 10, выход которого через вентиль 1Т соединен с одним концом трубопровода 12, которьш через вентиль 13 соединен- с механическим насосом 14, другой конец которого соединен с трубопроводом 4.

Устройство работает следующим образом.

Изделие 2 помещают в камеру 1, открывают вентили 3 и 13 и вакуумируют камеру 1, магистраль 4 и трубопровод 12. Открывают вентиль 11, включают диффузионный насос 10 и открывают вентиль 9. Откачивают масс-спектрометрическую камеру 8. Закрывают вентиль 13 и заполняют изделие 2 контрольным газом. В адсорбционный насос 6 заливают жидкий азот и открывают вентили 5 и 7. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 поглощает все атмосферные газы, кроме воСоставитель В.Черно сов Редактор К.Волощук Техред Н.ГлущенкоКорректор М.Шароши

...« -« ... «... «.. -.-«-..„

Заказ 1881/37 . Тираж 777Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР

по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

0

5

0

дорода и гелия, и уменьшает фоновый сигнал течеискателя. Откачиваемая смесь газов, проходя через мас-с-спек- трометрическую камеру 8, регистрируется последней и откачивается диффузионным йасосом 10. От сачиваемая ад- сорбцион} ым насосом 6 смесь газов снова попадает в последний, а затем в масс-спектрометрическую камеру 8, Путем циркуляции откачиваемой смеси газов в замкнутом контуре системы испытаний происходит многократное увеличение концентрации пробного газа в масс-спектрометрической камере 8, по величине которой судят о негерметичности изделия. При этом весь поток пробного газа проходит через камеру 8, что дополнительно повьшает чувствительность.

Фо рмула изобретения

1.Устройство для испытаний изделий на герметичность.содержащее входную магистраль, соединенную с ней масс-спектрометрическую камеру, диффузионный и механический насосы, вход диффузионного насоса соединен с входной магистралью, а выход - с механическим насосом и входной магистралью, отличающееся тем, что, с. целью повышения чувствительности, оно снабжено адсорбционным насосом, установленным на входной магистрали

между местом подсоединения выхода диффузионного насоса и масс-спектрометрической камерой.

2.Устройство по п. 1, отличающееся тем, что масс-спект- рометрическая камера размещена между адсорбционным и диффузионным насосами.

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий масс- спектрометрическим методом и позволяет повысить чувствительность контроля. Устройство содержит последовательно соединенные вакуумную камеру 1, адсорбционный насос 6, масс-спект- рометрическую камеру В, диффузионный насос 10 и механический насос 14. Выход диффузионного насоса 10 соединен с входной магистралью 4 перед адсорбционным насосом 6. При охлаждении жидким азотом адсорбционный насос 6 многократно поглощает все атмосферные газы в циркулирующем потоке, кроме водорода и гелия, и уменьшает фоновый сигнал течеис- кателя. Устройство позволяет накап- ливдть пробный газ в системе, что обеспечивает измерение малых величин течей. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. (Л оо о о СП