И
(Л
СП
to
3150
рую ориентируют параллельно плоскости вращения путем устранения биения автоколлимационного изображения А , сформированного в плоскости 11 наблюдения коноскопической картины при отражении от базовой поверхности пластины 7. При этом величину биени я коноскопической картины оценивают относительно светящейся точки А, являю- щейся изображением точечного источника а света, который используется для формирования коноскопической картины. Автоколлимационное изображение А от базовой поверхности получают
с помощью того же точечного источника а света одновременно со светящейся точкой А. Перед началом вращения совмещают светящуюся точку А с центром одной из интерферен1Д10нных полос коноскопической картины, фиксируя момент исчезновения этой точки на фоне полосы, а при контроле биения коноскопической картины наряду с отклонением выбранной интерференционной полосы от светящейся точки А анализируют изменение яркости последней, добиваясь ее минимального перепада. 1 ил.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Рефрактометр для прозрачных пластин | 1988 |
|
SU1631373A1 |
ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ ОПТИЧЕСКОЙ ОСИ КОРУНДОВЫХ СФЕРИЧЕСКИХ ПОДПЯТНИКОВ В СОСТАВЕ МАЯТНИКОВ ГАЗОВЫХ ЦЕНТРИФУГ | 2011 |
|
RU2473072C1 |
ИНФРАКРАСНЫЙ МИКРОСКОП | 1967 |
|
SU194356A1 |
Устройство для измерения полей микронапряжений в монокристалле | 1982 |
|
SU1067416A1 |
АВТОКОЛЛИМАЦИОННОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЦЕНТРИРОВКИ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ | 2019 |
|
RU2705177C1 |
СПОСОБ ОПТИЧЕСКОЙ ТОМОГРАФИИ ТРЕХМЕРНЫХ МИКРООБЪЕКТОВ И МИКРОСКОП ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1999 |
|
RU2145109C1 |
СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ КВАРЦЕВОЙ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ ЛИНЗЫ | 2007 |
|
RU2379656C2 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПОЛОЖЕНИЙ ДЕФЕКТОВ НА АСФЕРИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ ДЕТАЛИ (ВАРИАНТЫ) | 2015 |
|
RU2612918C9 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ОТКЛОНЕНИЯ ФОРМЫ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ | 2010 |
|
RU2441199C1 |
МИКРОСКОП ПРОХОДЯЩЕГО И ОТРАЖЕННОГО СВЕТА | 2009 |
|
RU2419114C2 |
Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к высокоточным способам ориентирования поверхностей прозрачных кристаллических пластин в различных направлениях относительно оптической оси. Способ осуществляют путем устранения биения коноскопической картины при вращении ориентируемой пластины 7 на базовой поверхности 6 пластины, которую ориентируют параллельно плоскости вращения путем устранения биения автоколлимационного изображения АЪ, сформированного в плоскости 11 наблюдения коноскопической картины при отражении от базовой поверхности 6 пластины 7. При этом величину биения коноскопической картины оценивают относительно светящейся точки А, являющейся изображением точечного источника A света, который используется для формирования коноскопической картины. Автоколлимационное изображение АЪ от базовой поверхности получают с помощью того же точечного источника A света одновременно со светящейся точкой А. Перед началом вращения совмещают светящуюся точку А с центром одной из интерференционных полос коноскопической картины, фиксируя момент исчезновения этой точки на фоне полосы, а при контроле биения коноскопической картины наряду с отклонением выбранной интерференционной полосы от светящейся точки А анализируют изменение яркости последней, добиваясь ее минимального перепада. 1 ил.
Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к способам ориентирования поверхностей прозрачных кристаллических пластин в различных направлениях относительно оптической оси.
Пель изобретения - повышение точ- кости ориентирования.
На чертеже представлена оптическая схема варианта устройства для реали- ;ации способа.
Способ осуществляют путем устранения биения коноскопической картины при вращении ориентируемой пластины на базовой поверхности пластины, которую, в свою очередь, ориентируют параллельно плоскости вращения путем устранения биения автоколлимационного изображения, сформированного в плоскости наблюдения коноскопической картины при отражении от базовой по- верхности пластины. При этом величину биения коноскопической картины оценивают относительно светящейся точки, являющейся изображением точечного источника света, который используется для формирования коноскопической картины. Автоколлимационное изображение от базовой поверхности получают с помощью того же точечного источника света одновременно со светящейся точкой. Перед началом вращения совмещают светящуюся точку с центром одной из интерференционных полос коноскопической картины, фиксируя момент исчезновения этой точки на фоне полосы, а при контроле биения коноскопической картины наряду с отклонением выбранной интерференционной полосы от светящейся точки анализи
5
0
s 0 г
0
5
руют изменение яркости последней, добиваясь ее минимального перепада.
В одном из вариантов выполнения устройство для реализации способа содержит точечный источник 1 света, формируемьй, например, лазером с микт рообъективом в плоскости экрана 2, который выполнен в виде полупрозрачного зеркала. Далее по ходу пучка установлены диагональное зеркало 3, коллиматор 4, поляризатор 5 и плоскопараллельная пластина 6 из прозрачного материала. Нижняя поверхность пластины 6 полированная, прозрачная, верхняя, полуматочная, частично прозрачная, служит базовой поверхностью, на которой устанавливают ориентируемый кристалл (пластину) 7. За кристаллом расположены поляризатор 8 и зрительная труба, содержащая объектив 9 и окуляр 10. В фокальной плоскости 11 объектив 9 строит коноскопи- ческую картину. Пластина 6 имеет возможность вращения на подщипнике 12 вокруг оси, перпендикулярной ее плоскости.
Ориентацию кристаллических пластин проводят следующим образом. С помощью точечного источника 1, коллиматора 4 и поляризатора 5 получают параллельный пучок поляризованных лучей. Часть пучка лучей, не отклоняясь, проходит через частично прозрачную, полуматовую базовую поверхность пластины 6 и кристаллическую пластину 7. В своей фокальной плоскости объектив 9 строит изображение светящейся точки А, положение которой наблюдают через окуляр 10. На чертеже изображение светящейся точки находится вне геометрической оси прибора (зрительной трубы). Другая часть параллельного пучка рассеивается базовой поверхностью, В результате этого в кристалл 7 входят параллельные пучки разных направлений. В кристалле эти пучки дают обыкновенные и необыкновенные лучи, между которыми возникает разность хода. Благодаря поляризатору 8 в фокальной плоскости объектива 9 наблюдают интерференцию этих лучей, которая в поле зрения образует типичную коноско- пическую картину. Она наблюдается одновременно с изображением светящейся точки А (для наглядности часть коно- скопической картины показана в плоскости чертежа). Вид картины зависит от показателя двупреломления кристалла, толщины пластины и направления оптической оси относительно ориентируемых поверхностей.
Если поверхности плоскопараллельной кристаллической пластины не перпендикулярны оптической оси кристалла, то при ее вращении на предметном столе центр коноскопинеской картины будет описывать окружность. За биением картины точнее следить по биени изохромы (интерференционной полосы), удаленной от центральной части кар- тинЫо Для этого наклоном зеркала 3 изображение светящейся точки А направляют на эту изохрому. Положение изохромы не зависит от наклона зеркала. Если при вращении кристалла происходит биение коноскопической картины, яркая точка появляется то с одно стороны темной изохромы, то гаснет в момент попадания на ее центральную часть, то выглядывает с другой стороны. Погасание происходит из-за того, что лучи, строящие изображение точки, идут в кристалле по тому же оптическому пути и получают ту же разность хода, что и лучи, строящие изохрому в данном направлении. Соответствующей обработкой (шлифовкой, полировкой) поверхностей пластины добиваются отсутствия биения коноскопической картины.
Выставление базовой поверхности предметного стола параллельно плоскости вращения подшипника 12 проводят с помощью промежуточного автокол- лимадионного изображения а точечного источника а. Изображение а получают от базовой поверхности плоскопараллельной пластины 6, пирамидаль- ность которой должна быть в пределах
0
5
0
Формула изобретения
Способ ориентирования кристаллических пластин путем устранения биения коноскопической картины при вращении ориентируемой пластины на базовой поверхности, которую ориентируют параллельно плоскости вращения путем устранения биения автоколлимаци- онного изображения, сформированного в плоскости наблюдения коноскопической картины при отражении от базовой поверхности, отличающийся тем, что, с целью повышения точности ориентирования, величину биения коноскопической картины оценивают относительно светящейся точки, являющейся изображением точечного источника света, который используется для формирования коноскопической картины, авто- коллимационное изображение от базовой поверхности получают с помощью того же точечного источника света одновременно со светящейся точкой, перед началом вращения совмещают светящуюся точку с центром одной из интерференционных полос коноскопической картины, фиксируя момент исчезновения этой точки на фоне полосы, а при контроле биения коноскопической картины наряду с отклонением выбранной интерференционной полосы от светящейся точки анализируют изменение яркости последней, добиваясь ее минимального перепада
Меланхолин Н.М | |||
Методы исследования оптических свойств кристаллов | |||
- М.: Наука, 1970, с.62-67 | |||
д ОМП, 1980, 6, с.20-22 | |||
х |
Авторы
Даты
1989-09-07—Публикация
1987-12-08—Подача