Прибор для контроля шероховатости поверхности Советский патент 1989 года по МПК G01B11/30 

1

(21)4376517/24-28

(22)12.02.88

(46) 15.11.89. Бюл. № 42

(71)Киевский политехнический институт им. 50-летия Великой Октябрьской социалистической революции

(72)И.С.Мельник, Л.А.Михеенко и Т.А.Зотова

(53)531.715.27(088.8)

(56)Авторское свидетельство СССР № 1395946, кл. G 01 В 11/30, 1986.

(54)ПРИБОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ iJEРОХОВАТОС,- ТИ ПОВЕРХНОСТИ

(57)Изобретение относится к измерительной технике. Цепь - расширение области применения. Это достигается путем измерения как зеркальной, так

и рассеянной составляющих светового потока прибором для контроля шероховатости 0,05 - 20 мкм поверхности независимо от изменения ее отражательной способности. Расходящийся пучок лучей от источника 5 излучения, пройдя через положительную линзу 7, попадает на конический отражатель 2, который направляет излучение на среднюю зону 8 линзы 1, которая преобразует его в сходяп5ийся пучок с центром, расположенным за контролируемой поверхностью 10. При отражении излучения от контролируемой поверхности 10 зеркально отраженная часть потока, пройдя центральную зону 7 линзы 1, попадает на регистратор 3, а рас- сеянная микродефектами поверхности 10 часть потока, пройдя периферийную зону 9 линзы 1, попадает на регистратор 6, где формируется темно-поль- ное изображение микродефектов. Измеряя величину расеянной и зеркальной составляющих потока, по их соотношению можно судить о классе шероховатости поверхности 10. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике. Цель - расширение области применения-достигается путем измерения как зеркальной, так и рассеянной составляющих светового потока прибором для контроля шероховатости 0,05-20 мкм поверхности независимо от изменения ее отражательной способности. Расходящийся пучок лучей от источника 5 излучения, пройдя через положительную линзу 7, попадает на конический отражатель 2, который направляет излучение на среднюю зону 8 линзы 1. Последняя преобразует его в сходящийся пучок с центром, расположенным за контролируемой поверхностью 10. При отражении излучения от контролируемой поверхности 10 зеркально отраженная часть потока, пройдя центральную зону 7 линзы 1, попадает на регистратор 3, а рассеянная микродефектами поверхности 10 часть потока, пройдя периферийную зону 9 линзы 1, попадает на регистратор 6, где формируется темно-польное изображение микродефектов. Измеряя величину рассеянной и зеркальной составляющих потока, по их соотношению можно судить о классе шероховатости поверхности 10. 1 ил.

1чЭ

ГО

о

00 Од

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля шероховатости поверхности.

Цель изобретения - расширение области применения путем измерения как зеркальной, так и рассеянной компонент потока, что позволяет использовать прибор для измерения пшрокого класса поверхностей шероховатостью от 0,05 до 20 мкм независимо от изменения отражательной способности поверхности.

На чертеже изображена принципиальная схема прибора для контроля ше- роховатости поверхности. ,

Прибор содержит последовательно расположенные на оптической оси линзу 1 большего светового диаметра, конический отражатель 2 с регулятором 3 на основании корпуса, положительную линзу 4 меньшего светового диаметра, источник 5 излучения и регистратор 6 рассеянный составляющей. Источник 5 излучения совместно с линзой 4, коническим отражателем 2, средней зоной 8 линзы 1 образует осветительный канал. Центральная зона 7 линзы 1 и регистратор 3 образуют осветительный канал. Центральная зона 7 линзы 1 и регистратор 3 образуют приемный канал зеркальной составляющей отраженного потока. Периферий ная зона 9 линзы 1 и регистратор 6 образуют приемный канал.рассеянной составляющей отраженного потока. Конролируемая поверхность 10 оптически сопряжена с регистратором 6.

0

)5

0

5

35 0

30

Прибор для контроля шероховатое ти поверхности работает следующим образом.

Расходящийся пучок лучей от источника 5 излучения, пройдя через положительную линзу 4, попадает на конический отражатель 2, который направляет излучение на среднюю зону 8 линзы 1, которая преобразует его в сходящийся пучок с центром, располо- . женным за контролируемой поверхностью 10. При отражении излучения от контролируемой поверхности 10 зеркально отраженная часть потока, пройдя центральную зону 7 линзы 1, попадает на регистратор 3, а рассеянная микродефектами поверхности 10 часть потока, пройдя периферийную зону 9 линзы 1, попадает на регистратор 6, где формируется темнопольное изображение микродефектов. Измеряя величину рассеянной и зеркальной составляющих потока по их соотношению можно судить о классе шероховатости поверхности. , Формула изобретения

Прибор для контроля шероховатости поверхности, содержапщй источник излучения, две положительные линзы, установленные по ходу излучения, и регистратор рассеянной составляющей светового потока, отличающий- с я тем, что, с целью расширения области применения, он снабжен коническим отражателем, установленным между линзами и обращенным вершиной к источнику излучения, и регистратором зеркальной cocJ aвляющeй светового по- |тока, расположенным на основании котг нического отражателя.