Способ диффузионной сварки Советский патент 1989 года по МПК B23K20/16 

11 1оГ)|-,е1С Ние относится к сварке давлением, и частности к диффузионной свар- ра июро.тны.х ма Н ряа.тов. и может ) И1 н().II. ionaно в приборостроении д,тя изготовления ||реци.зионных vзл(JB типа мета,т,т стек. ю, .мета. 1.1 нолуироводник.

Це,1ьк) изобретения является повьпнение качества () соединения путем активации саа 1И и1емы. иоЕН рхностей.

(люсоб осунк ствляют следующим обраtOM.

Между сва)иваемым1. повер.хностями свари ваемы.х дета. Тей размешают промежуточную прокладку, устанавливают и.х в сва- И)чной камере и ссзздают в ней соответствующую атмосферу. Затем промежуточную нрокладку подвергают плазменному трав- . ,Чета,;1и нагревают, сдавливают и ()су|цеств, 1як)Т изотермическую выдержку.

В нроцессе плазменного травления под действием потока взаимодействуютцих .химически активных частиц происходит очистка, травление и активация поверхностей, что пс.шо, 1яет чество сварного соединения.

свариваемых н()В1)1сить к; ripimep. Проводи,1и сварк предваритель но обработанных кварцевых деталей. Пред- , 1ьная обработка зак,1ючалась в осаждении 11оликриста, 1лического кремния то, ной 1.2 мкм и пос.чедуюшего отжига в среде водорода. В качестве промежуточно прок,тадки испо., 1И пористый ,Л1, no,iy- ченную анодированием.

Толщина прокладки 80 .мкм, пористость 50%. В качестве химически активного газа использовали смесь хладона СС1., + 0., (до 2%).

Свариваемые детали размешали в прцс- пособ,1ении. ,Между ни.ми на расстоянии 30 мм от каждой устанавливает оправку с промежуточной прокладкой.

Приспособление устанав,тива,ти в сварочную камер, создава,1и в ней

ел

со

ND ЬО

4

05

10 Па и заполняли ее смесью химически активного газа (хладон + аргон), поддерживая давление 60 Па. Затем зажигали плазму между свариваемыми поверхностями деталей и промежуточной прокладки путем подачи на них регулируемого потенциала от высокочастотного источника тока мощностью 4,5 квт и проводили травление промежуточной прокладки в течение 12 мин при 180°С. Затем давление газа снижали до 40 Па, детали сдавливали усилием 2 МПа, нагревали до 450°С и осуществляли изотермическую выдержку в течение 30 мин. Детали охлаждали и извлекали из камеры.

Испытания сваренных деталей показали повышение качества сварного соединения.

Формула изобретения

Способ диффузионной сварки, при кото- ро.м между свариваемыми поверхностями размещают промежуточную прокладку, детали нагревают, сдавливают и осуществляют изотермическую выдержку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества соединения путем активации свариваемых поверхностей, поверхность промежуточной прокладки подвергают плазменному травле нию.

Изобретение относится к сварке давлением, в частности к диффузионной сварке разнородных материалов, и может быть использовано в приборостроении для изготовления прецизионных узлов типа металл-стекло, металл-полупроводник. Цель изобретения - повышение качества сварного соединения путем активации свариваемых поверхностей. Между свариваемыми поверхностями соединяемых деталей размещают промежуточную прокладку, устанавливают их в сварочной камере и создают в ней соответствующую атмосферу. Затем промежуточную прокладку подвергают плазменному травлению путем подачи на нее и свариваемые детали регулируемого потенциала от высокочастотного источника тока, в результате чего свариваемые поверхности очищаются от загрязнений и активируются. Затем детали сдавливают, нагревают до температуры сварки и осуществляют изотермическую выдержку.