Устройство для фильтрации жидкостей Советский патент 1990 года по МПК B01D35/18 

Изобретение относится к устройствам т.ля -фильтрации жидкостей и может быть использовано в микроэлектронике для подготовки сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем.

Целью изобретения является повышение качества фильтрации, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром пор 0,2 мкм и менее и повышение надежности устройства.

На чертеже приведено устройство, общий вид.

Устройство для фильтрации жидкостей содержит корпус 1 с размещенными в нем нагревательным элементом 2 и фильтром 3 и патрубками входа 4 и выхода 5. Перед фильтром установлены дополнительные нагревательный элемент 6 и датчик 7 температуры, включенный в схему управления (не показано) дополнительного нагревательного элемента 6. Для предохранения фильтра от

перегрева под действием нагревательного элемента 2 межд ними установлен проницаемый для жидкости термоизолирч ющин экран 8, выполненный в виде перфорированной мембраны, в отверстиях которой фильтруемая жидкость течет с увеличенной скоростью в направлении патрубка 5 выхода. Образующийся при этом перепад давления по обе стороны экрана препятствует движению жидкости от нагревательного элемента 2 в сторону фильтра 3.

Устройство работает следующим образом.

Исходная жидкость поступает в коргнс через патрубок 4 и, проходя через нагревательный элемент 6, нагревается до заданной температуры, контролируемой датчиком 7. Далее нагретая жидкость проходит через фильтр 3, где очищается от механических примесей, и теплоизолирующий экран 8 За экраном 8 жидкость дополнительно Нагревала.

Сп

IsS Oi СЮ

ется элементом 2 и через патрубок 5 выводится из устройства.

Необходимый уровень температуры отфильтрованной жидкости, выходящей через патрубок 5, обеспечивается нагревательным элементом 2, установленным за фильтром 3.

Применение устройства для фильтрации жидкостей обеспечивает повышение качества фильтрации, в частности, кислот с удельной плотностью более 1,5 г/см3 (например, ортофосфорной, серной и др.) при размере пор фильтра 0,2 и менее мкм, повышение надежности устройства за счет уменьшения вязкости кислот и уменьшения перепада давления на фильтре, а также позволит снизить в 3-4 раза мощность привода на прокачку фильтруемой жидкости.

Формула изобретения

. Устройство для фильтрации жидкостей, содержащее корпус- с размещенными в нем фильтром и нагревательным элементом и патрубками входа и выхода жидкости, отличающееся тем, что, с целью повышения качества фильтрации и надежности снижения мощности на прокачку жидкости через фильтр, оно снабжено дополнительным нагревательным элементом и датчиком температуры, при этом дополнительный элемент установлен перед фильтром, а датчик размещен между ними и взаимодействует с дополнительным нагревательным элементом.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что оно снабжено теплоизолирующим экраном, размещенным между фильтром и нагревательным элементом.

Изобретение может быть использовано в микроэлектронике для подготовки жидких сред, используемых в производстве сверхбольших интегральных схем. Цель изобретения - повышение качества фильтрации агрессивных жидкостей с удельной плотностью более 1,5 г/см³, повышение надежности устройства, снижение мощности на прокачку жидкости через фильтр с диаметром пор 0,2 мкм ми в нем последовательно расположенными фильтром и нагревательным элементом. Перед фильтром установлен дополнительный нагревательный элемент, а между фильтром и дополнительным нагревательным элементом - датчик температуры, включенный в схему управления дополнительного нагревательного элемента. С целью предохранения фильтра от перегрева между ним и нагревательным элементом установлен термоизолирующий экран. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.