Устройство для измерения перемещений Советский патент 1990 года по МПК G01B9/00 

где

1 - известная длина волны излучения лазера;

Б - дробнья часть порядка интерференции ЈГ К( ); К - градуированный коэффициент параметрического преобразователя .

Высокая точность измерения перемещения и расширение диапазона измере ний обусловлены следующим. Поскольку элементы параметрического преобразователя не связаны с перемещающимся объектом (зеркалом k), имеет место независимое измерение целого числа порядков интерференции N и дробной части Ј . Следовательно, режим работы параметрического преобразователя не ограничивает диапазона измерения первого резонатора Фабри-Перо (зеркала k, 5). В то же время диапазон измерения параметрического преобразователя весьма узок и не превышает 2-3 порядков интерференции. Этот диапазоь должен включать в себя два положения зеркала Jj при настройке на максимум интерференционной полосы в начале и в конце процедуры измерения. В столь узком диапазоне измерения параметрические преобразователи не имеют погрешности из-за нелинейности характеристики преобразования.

Кроме того, точность измерения повышается из-за того, что в данном устройстве параметрический преобразо

Формула изо. р е т е н и я

Устройство для измерения перемещений, содержащее последовательно установленные источник когерентного излучения и светоделитель, предназначенный для деления излучения на два па- раллельных пучка, расположенные по ходу разделенных пучков перзый и второй резонаторы о)абри-(1еро, выполненные с общим зеркалом, зеркало первого резонатора предназначено для крепления к объекту5 параметрический преобразователь, элементы которого закреплены на зеркалах резонаторов, узел сканирования, соединенный с зеркалом одного из резонаторов, фотоприемник, расположенный в выходном пучке резонаторов и счетчик интерференционных полос., отличающееся тем, что, с целью повышения точности и расширения диапазона измерений, оно снабжено непрозрачной заслонкой, установленной между резонаторами и фотоприемником с возможностью перемещения перпендикулярно направлению выходящих из резонаторов пучков, зеркало второго езонатора установлено неподвижно, узел сканирования соединен с общим

зеркалом, а элементы параметрического преобразователя закреплены соответтвенно на зеркале второго резонатоа и общем зеркале.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений в широком диапазоне измеряемых величин. Целью изобретения является повышение точности и расширение диапазона измерений за счет обеспечения работы параметрического преобразователя в стационарных условиях и независимого измерения целого числа порядков интерференции и ее дробной части. Перед началом измерения посредством узла 7 сканирования зеркало 5 выставляют в положение, при котором фотоприемник 10 регистирирует максимум полосы, и снимают показание параметрического преобразователя. После перемещения объекта, связанного с зеркалом 4, регистрируют целое число полос счетчиком 11. После этого осуществляют перемещение зеркала 5 до появления ближайшего интерференционного максимума, снимают повторно показание параметрического преобразователя и по разности показаний определяют дробную часть полосы. 1 ил.