Вакуумный молекулярный насос Советский патент 1990 года по МПК F04D19/04 

ел

о

О5

О

оо j

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов

Цель изобретения - повышение экономичности путем снижения трудоемкости при сборке и регулировании

На чертеже представлена схема насоса Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1 и крышку 2, разделенные уплотнением, размещенный в корпусе 1 статор 3 со статорными дисками 4 и установленный по оси статора 3 на магнитной подвеске 5 ротор 6 с роторными дисками 7 Уплотнение между корпусом 1 и крышкой 2 выполнено в виде закрепленной на корпусе 1 кольцевой емкости 8, заполненной легкоплавким металлом 9, и закрепленного на крышке 2 кольцевого полого герметизирующего элемента 10, расположенного в кольцевой емкости 8 и имеющего объем, определяемый соотношением , где М - масса насоса без корпуса 1, р - плотность легкоплавкого металла 9 в жидком состоянии, причем статор 3 размещен в корпусе 1 с зазором и закреплен на крышке 2

Насос работает следующим образом Крышка 2 с закрепленным на ней статором 3, установленные по оси статора 3 ротор 6 и магнитная подвеска 5, собранные в единый узел, располагаются в корпусе 1 При этом герметизирующий элемент 10 погружается в предварительно расплавленный металл 9, заполняющий ем кость 8 При выполнении герметизирующего элемента 10 объемом, соответствующим соотношению , крышка 2 находится в плавающем состоянии, что обеспечивает установку статорных дисков 4 в строго горизонтальном положении Остывание металла 9 приводит к фиксированию крышки 2 и, соответственно, дисков 4 в этом гори0

5

0

5

0

зонтальном положении, а также к герметизации стыка между корпусом 1 и крышкой 2 Затем ротор 6 вывешивается в магнитном поле подвески 5, причем роторные диски 7 при этом также занимают строго горизонтальное положение. Таким образом обеспечивают и гарантированные зазоры между статорными и роторными дисками 4 и 7 Вращением ротора 6 обеспечивается перемещение молекул газа со стороны всасывания на сторону нагнетания.

Экономичность достигается при сборке и регулировании зазоров между дисками 4 и 7 путем значительного снижения трудоемкости, поскольку статорные диски 4 самоустанавливаются строго горизонтально без дополнительных операций

Формула изобретения

Вакуумный молекулярный насос, содержащий корпус и крышку, разделенные уплотнением, размещенный в корпусе статор со статорными дисками и установленный по оси статора на магнитной подвеске ротор с роторными дисками, отличающийся тем, что, с целью повышения экономичности путем снижения трудоемкости при сборке и регулировании, уплотнение между корпусом и крышкой выполнено в виде закрепленной на корпусе кольцевой емкости, заполненной легкоплавким металлом, и закрепленного на крышке кольцевого полого герметизирующего элемента, расположенного в кольцевой емкости и имеющего объем определяемый

соотношением

,

где М - масса

насоса без корпуса, р - плотность легкоплавкого металла в жидком состоянии, причем статор размещен в корпусе с зазором и закреплен на крышке

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность путем снижения трудоемкости при сборке и регулировании насоса. Статор 3, магнитная подвеска 5 и ротор 6 закреплены на крышке (КР) 2 и размещены в корпусе (К) 1 с зазором. На К 1 закреплена кольцевая емкость 8, заполненная легкоплавким металлом (М) 9. В М 9 расположен герметизирующий элемент 10, закрепленный на КР 2. При сборке КР 2 плавает в расплавляемом М 9. Статорные диски 4 самоустанавливаются строго горизонтально. После застывания М 9 горизонтальность сохраняется, обеспечивая гарантированный зазор между статорными и роторными дисками 4 и 7 в процессе работы насоса. 1 ил.