Молекулярный вакуумный насос Советский патент 1986 года по МПК F04D19/04 

Изобретение относится к вакуумной технике.

Цель изобретения - повышение эксплуатационных характеристик.

На чертеже изображен молекулярный вакуумный «асос, продольный разрез.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с всасывающим 2 и нагнетательным 3 патрубками и расположенные в нем статорные 4 и роторные 5 диски. При этом статорные диски 4 зафиксированы один относительно другогоС помощью проставочHbix колец 6, образующих с корпусом 1 зазор, последний по ходу откачки статорный диск снабжен прижимным фланцем 7, закрепленным на корпусе 1, а в зазоре размещены сильфонные уплотнения 8. На стагорных дисках выполнены спиральные пазы 9.

Молекулярный вакуумный насос работает следующим образом.

Откачиваемый газ через всасывающий патрубок 2 поступает на вход первой ступени. Вдоль спиральных пазов газ перемещается вследствие взаимодействия с поверхностью роторного диска 5 к периферии статорного диска 4, откуда через радиальный зазор между роторным диском 5 и проставочным кольцом 6 подается на вход второй ступени и так далее к нагнетательному патрубку 3.

Благодаря сильфонному уплотнению перетечки газа из последующих ступеней в предыдущую полностью устраняются, в результате повьииается степень сжатия каждой ступени, что приводит к уменьшению предельного остаточного давления.

МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками и расположенные в нем статорные и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационных характеристик, статорные диски зафиксированы относительно один другого при помощи проставочных колец, образующих с корпусом зазор, последний по ходу откачки газа статорный диск снабжен прижимным фланцем, закрепленным на корпусе, а в зазоре размещены сильфонные уплотнения. (Л ..ХУчУ Ы кэ О5 СП 4 ,