Натекатель Советский патент 1990 года по МПК F16K51/02 

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для дозировки малых потоков газа в вакуумные системы

Цель изобретения - повышение надежности за счет увеличения точности регулирования потока напуска газа в вакуумную систему

На фиг 1 представлен натекатель, общий вид, на фиг 2 - разрез А-А на фиг 1 (с помещенными в электрореологическую жидкость электродами)

Натекатель содержит корпус 1 со штуцерами 2 и 3 подачи рабочей среды, игольчатый клапан 4, кинематически связанный с приводом 5 перемещения Кинематическая 15 связь клапана 4 с приводом 5 перемеще ния выполнена в виде герметичных, заполненных жидкостью систем, включающих исполнительный орган, жестко связанный с клапаном, и узел регулирования давления Исполнительный орган выполнен в виде скрепленной по концам к корпусу 1 прямолинейной тонкостенной упругодеформируе- мой трубки 6 овального сечения, которая в своей средней части вдоль малой оси соеди

чение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы упруго- деформируемой тонкостенной трубки 6 овального сечения, при этом уменьшается большая ось овала а и увеличивается малая ось в.

5 Увеличение малой оси овала вызывает перемещение иглы клапана 4 и изменение канала проводимости между иглой клапана 4 и его седлом 12 При снятии давления система возвращается в исходное положение.

10 Когда система заполнена электрореологической жидкостью, при прохождении через нее электрического напряжения жидкость меняет свой объем и трубка «дышит, перемещая при этом клапан 4

Формула изобретения

1 Натекатель, содержащий корпус со штуцерами подачи рабочей среды и размещенный в корпусе клапан, кинематически свя- 20 занный с приводом перемещения, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, кинематическая связь выполнена в виде герметичных, заполненных жидкостью систем, включающих исполнительный орнена с клапаном 4, причем один из концов 25 ган, жестко связанный с клапаном, и узел

трубки заглушен Узел регулирования дав- тения выполнен в виде сильфона 7, один то рец которого герметично соединен со свободным концом упругодеформируемой трубки 6, а г. аглушен и связан с приводом 5 перемещения, а также в виде электродов 8 и Ч, размещенных внутри упругодеформи- трубки 6 и ситьфона 7 и пропущен ны через (аглушки и связанных с источ пиком регулируемого напряжения Трубка 6 заполнена электрореологической жидкостью

регулирования давления

2Натекатель по п 1, отличающийся тем, что исполнительный орган выполнен в виде закрепленной по концам к корпусу прямолинейной тонкостенной упругодеформироЗо ванной трубки овального сечения, в средней части вдоль малой оси, соединенной с клапаном, причем один из концов трубки заглушен

3Натекатель по пп 1 и 2, отличающийся тем что узел регулирования давления вы10 Игольчатый клапан 4 соединен с труб- 35 полней в виде сильфона, один торец которокои 6 с помощью резьбовой втулки 1 1 и нахо дигся посередине Седло 12 клапана 4 раз метено в штуцере 3 и имеет вак ум-плот мое соединение с ниппелем 13

Натекатель работает следующим обра

1ОМ

Peiулирование потока газовой смеси осуществляется сжатием сильфона 7 приво дом 15 перемещения, вызывающим повышение давления герметичной системы,

40

состоящей ш трубки 6 и сильфона 7 Увели- 45 гической жидкостью.

го герметично соединен со свободным концом упругодеформируемой трубки, а другой заглушен и связан с приводом перемещения. 4 Натекатель по пп 1 и 3, отличающийся тем, что узел регулирования давления выполнен в виде электродов, размещенных внутри упругодеформируемой трубки к сильфона и пропущенных через заглушки и связанных с источником регулируемого напряжения, а трубка заполнена электрореоло

чение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы упруго- деформируемой тонкостенной трубки 6 овального сечения, при этом уменьшается большая ось овала а и увеличивается малая ось в.

Увеличение малой оси овала вызывает перемещение иглы клапана 4 и изменение канала проводимости между иглой клапана 4 и его седлом 12 При снятии давления система возвращается в исходное положение.

0 Когда система заполнена электрореологической жидкостью, при прохождении через нее электрического напряжения жидкость меняет свой объем и трубка «дышит, перемещая при этом клапан 4

Формула изобретения

1 Натекатель, содержащий корпус со штуцерами подачи рабочей среды и размещенный в корпусе клапан, кинематически свя- занный с приводом перемещения, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, кинематическая связь выполнена в виде герметичных, заполненных жидкостью систем, включающих исполнительный орган, жестко связанный с клапаном, и узел

регулирования давления

2Натекатель по п 1, отличающийся тем, что исполнительный орган выполнен в виде закрепленной по концам к корпусу прямолинейной тонкостенной упругодеформированной трубки овального сечения, в средней части вдоль малой оси, соединенной с клапаном, причем один из концов трубки заглушен

3Натекатель по пп 1 и 2, отличающийся тем что узел регулирования давления выполней в виде сильфона, один торец которо

гической жидкостью.

го герметично соединен со свободным концом упругодеформируемой трубки, а другой заглушен и связан с приводом перемещения. 4 Натекатель по пп 1 и 3, отличающийся тем, что узел регулирования давления выполнен в виде электродов, размещенных внутри упругодеформируемой трубки к сильфона и пропущенных через заглушки и связанных с источником регулируемого напряжения, а трубка заполнена электрореоло

Изобретение относится к вакуумной техники и может быть использовано для дозировки малых потоков газа в вакуумные системы. Цель изобретения - повышение надежности за счет увеличения точности регулирования потока напуска газа в вакуумную систему. Регулирование потока газовой смеси осуществляется сжатием сильфона 7 приводом перемещения 5, вызывающим повышение давления внутри герметичной системы, состоящей из трубки 6 и сильфона 7. Увеличение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы упругодеформируемой тонкостенной трубки 6. Система заполнена электрореологической жидкостью, при прохождении через нее электрического напряжения трубка 6 меняет свой объем. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

оо

Фиг. 2