Трехкоординатное устройство для прецизионного перемещения изделий Советский патент 1992 года по МПК H01L21/50 H05K13/00 

Изобретение относится к технологическому оборудованию для монтажа радиоэлектронной .аппаратуры, в частности к устройствам ориентации и поштучной подачи на позиции обработки микроминиатюрных изделий, и может быть использовано для производства микросхем в условиях технологических сред и в вакууме.

Цель изобретения - расширение эксплуатационных возможностей в особочи- стых технологических средах и упрощение конструкции.

На чертеже представлено трехкоорди- натное устройство для прецизионного перемещения изделий, общий вид.

Устройство состоит из двух кареток, рабочего стола и независимых приводов перемещения по осям X и Y, расположенных

одна к другой под прямым углом, и поворотного устройства.

Привод перемещения по оси X содержит каретку 1, к которой жестко прикреплены две герметичные, параллельные, соединенные трубопроводом гибкие трубки 2 и 3 эллиптического сечения, связанные с узлом регулирования давления, состоящим изсильфона4. Ктрубкам прикреплен столик 5 для перемещения по оси X. Сильфон 4 связан с источником внешнего перемещения, находящимся вне рабочей среды или вакуума.

Привод перемещения по оси Y выпол- нен аналогично и состоит из каретки 6, прикрепленной к столику 5, трубок 7 и 8 и припаянного к ним рабочего стола 9 для перемещения по оси Y. На рабочем столе находится перемещаемое изделие.

N) VI О

Поворотное устройство состоит из винтовой, герметичной, упругодеформируемой, заполненной жидкостью трубки 10 эллиптического сечения, жестко закрепленной торцами к фланцу 11 и каретке 6. Узел регулирования давления во всех случаях одинаков. Во всех случаях сильфом и трубки, соединенные трубопроводом, заполнены жидкостью.

Устройство работает следующим обра- зом.

При сжатии сильфона 4 от внешнего источника перемещения повышается давление внутри системы, состоящей из упругодеформируемых трубок 2 и 3, трубоп- ровода и сильфона 4. Увеличение давления внутри системы вызывает изменение геометрической формы трубок 2 и 3 эллиптического сечения, при этом уменьшается большая ось эллипса и увеличивается малая, параллельная оси X, что вызывает пере- мещение по оси X. Поскольку жидкость малосжимаема, то все усилие идет на изменение геометрической формы трубок. Ана- логичным образом при повышении давления внутри трубок 7 и 8 происходит перемещение по оси Y. Перемещение по угловой координате достигается путем повышения давления внутри винтовой, упругодеформируемойтрубки10эллиптического сечения, которая начинает раскручиваться. При снятии давления система возвращается в исходное положение.

Последовательность, направление и величина перемещения по каждой координате могут задаваться каким-либо программным устройством, например ЭВМ. Предлагаемое устройство дает возможность незави

0

5 0 5 0

5

симого перемещения по всем трем координатам.

Ф о рм ул а изобретен ия1.Трехкоординатнбе устройство для прецизионного перемещения изделий, содержащее рабочий стол, приводы для перемещения соответствующих кареток по координатам X и Y и поворотный механизм с приводом, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей в особочистых технологических средах и упрощения конструкции, приводы перемещения по осям X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечения, герметичных, заполненных жидкостью и соединенных с узлом регулирования давления посредством трубопровода, а каретка каждой координаты закреплена на боковых поверхностях каждой пары привода,соответствующей координаты.

2.Устройство по п.1. о т л и ч а ю щ е е- с я тем, что привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечения, герметичной, заполненной жидкостью, соединенной с узлом регулирования давления.

3.Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с я тем, что длина герметичных трубчатых элементов эллиптического сечения в приводах перемещения по координатам X и Y превышает максимальную ширину в шесть- десять раз.

4.Устройство по п.1, о т л и ч а ю щ е е- с я тем, что гибкие, герметичные трубчатые элементы в приводах перемещения по координатам X и Y выполнены с ромбовидным сечением.

11

Изобретение относится к технологическому оборудованию для монтажа радиоэлектронной аппаратуры в условиях особо чистых технологических сред и в вакууме. Цель изобретения - расширение эксплуата- ционных возможностей, а также упрощение конструкции -достигается тем, что приводы по координатам X и Y выполнены в виде двух пар параллельных трубчатых элементов эллиптического сечения, герметичных, заполненных жидкостью, привод поворотного механизма выполнен в виде винтовой, упругодеформируемой трубки эллиптического сечения, также герметичной и заполненной жидкостью. Все приводы соединены с узлом регулирования давления. Зз.п.ф-лы, 1 ил. fe