название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Интерферометр для измерения линейных перемещений | 1988 |
|
SU1578457A1 |
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЫЦЕНИЙ ОБЪЕКТА | 1973 |
|
SU407185A1 |
Интерферометр для измерения линейных величин | 1988 |
|
SU1567870A1 |
Интерферометр для измерения перемещений | 1983 |
|
SU1227948A1 |
ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДВУХКООРДИНАТНОГО СТОЛА | 1992 |
|
RU2047085C1 |
Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта | 1987 |
|
SU1416861A1 |
Интерферометр для измерения перемещений | 1980 |
|
SU934212A1 |
ДВУХЧАСТОТНАЯ ЛАЗЕРНАЯ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ | 1994 |
|
RU2082085C1 |
Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта | 1988 |
|
SU1525446A1 |
Интерферометр для измерения перемещений объекта | 1981 |
|
SU983450A1 |
Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к интерферометрам для измерения малых (0,5 мкм) перемещений. Цель изобретения - уменьшение габаритов, упрощение конструкции и расширение области использования за счет размещения полупрозрачных зеркал внутри между уголковыми отражателями, симметричного расположения элементов интерферометра относительно оптической оси, а также за счет возможности задания требуемой точности измерения. Интерферометр содержит оптически связанные между собой источник 1 света, первое полупрозрачное зеркало 2, второе полупрозрачное зеркало 3, два уголковых отражателя 4 и 5, а также приемник 6 света. Световой пучок от источника 1 света делится на опорный и измерительный пучки полупрозрачным зеркалом 2 и после отражения от уголковых отражателей 4 и 5 они соединяются на зеркале 3. В зоне приемника 6 света формируется переменная во времени интерференционная картина. Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально перемещению одного из уголковых отражателей. 1 ил.
Интерференционное устройство контроля линейных перемещений объекта | 1979 |
|
SU1017916A1 |
Печь для непрерывного получения сернистого натрия | 1921 |
|
SU1A1 |
Авторы
Даты
1990-07-15—Публикация
1988-01-08—Подача