Интерференционное устройство контроля линейных перемещений объекта Советский патент 1983 года по МПК G01B11/00 

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ УСТРОЙСТВ КОНТРОЛЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕВЩНИЙ ОБЪЕКТ - . j ;; -ч . - л. VvV . ;Л .. -. г -.;.-ПЛТгЧ Oii. i jUtlAb Содержащее источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения колЛтиМатсф и светоделитель, делящий излучение на два потока, в одном из которых диаметрально противоположно один другоь расположены два уголковыхотражателя, один из связывается с объектом, а в другом последователь- но расположены Элемент совмесцения потоков, диафрагма и фотоприемник отличающееся тем, что, с цепью повьаиения точности контроля, оно снабжено двумя телескопическими системами, одна из котсчйдх усгавовлена между уголковыми отраясателямиу другая - между уголковым отражателем, связываемым с объектом, и элементом совмещения потоков, а твяескопические систем выполнешг с эадантэ мл параметрами увеличений, и увеличение обеих телескопических С1взтвм pasHo единице.