Интерферометр для измерения линейных перемещений Советский патент 1990 года по МПК G01B9/02 G01B11/02 

Изобретение относится к измерительной технике, конкретнее к интерферометрам для измерения малых (0,5 мкм) перемещений.

Цель изобретения - уменьшение габаритов и повышение точности изменения за счет размещения компонентов интерферометра по оси светового пучка и за счет возможности доводки измерительных импульсов до максимального значения.

На чертеже изображена принципиальная схима интерферометра для измерения линейных перемещений.

Интерферометр содержит оптически связанные источник 1 света,- полупрозрачные зеркала 2 и 3, оптически прозрачную плоскопараллельную пластину 4, уголковый отражатель 5, который может состоять как из двух, так и из трех отражающих поверхностей, и приемник 6 света.

Интерферометр работает следующим образом.

Световой пучок, формируемый источ пиком 1 света, делится полупрозрачным зеркалом 2 на опорный, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и на измерительный, отражен- ный от нее. Измерительный пучок отражается от отражателя 5 и соединяется с опорным на полупрозрачной поверхности зеркала 3. При перемещении отражателя 5 по оси У в зоне приемника 6 света формируется интер- вференционная картина в виде чередующихся темных и светлых полос (пятен) Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорциональ- но величине перемещения отражателя 5

Плоскопараллельная пластина 4 необходима для финишного совмещения опорного и отраженного лучей на. приемнике 6 света, тек как юстир овочная подвижка зеркал 2 и 3 и уголкового отражателя 5 приводит одновременно как к смещению опорного и измерительного лучей параллельно друг другу, так и к изменению угла между ними. Плоскопараллельная пластина 4 перемещается при юстировке, разворачиваясь относительно оптической оси интерферометра. Описанная схема позволяет более качественно отъюстировать интерферометр, а также проводить оперативную лодъюстировку с целью компенсации, например, температурных деформаций в процессе работы. В результате амплитуду измерительных импульсов удается довести до максимального значения и, соответственно, повысить точность измерения. Формула изобретения

Интерферометр для измерения ли- . нейных перемещений, содержащий оптически связанные источник света, два полупрозрачных зеркала, расположенные во взаимно перпендикулярных плоскостях, и приемник света, отличающийся тем, что, с целью уменьшения габаритов и повышения точности измерения, он снабжен плоскопараллельной пластиной, расположенной между зеркалами, источник света, зеркала и приемник света расположены на одной оси, а плоско- параллельная пластина установлена с возможностью поворота относительно . этой оси.

Изобретение относится к измерительной технике, конкретно к интерферометрам для измерения малых (0,5 мкм) перемещений. Цель изобретения - уменьшение габаритов и повышение точности измерения за счет размещения компонентов интерферометра по оси светового пучка и возможности доводки измерительных импульсов до максимального значения. Световой пучок, формируемый источником 1 света, делится полупрозрачным зеркалом 2 на опорный пучок, прошедший через его полупрозрачную поверхность, и измерительный пучок, отраженный от нее. Измерительный пучок отражается от отражателя 5 и соединяется с опорным на полупрозрачной поверхности зеркала 3. При перемещении отражателя 5 по оси Y в зоне приемника 6 света формируется интерференционная картина в виде чередующихся темных и светлых полос. Приемник 6 света вырабатывает импульсы, число которых пропорционально величине перемещения отражателя 5. Источник 1 света, зеркала 2 и 3 и приемник 6 света расположен на одной оси, а плоскопараллельная пластина 4 установлена с возможностью поворота относительно этой оси. 1 ил.