Способ измерения малых угловых поворотов объекта Советский патент 1990 года по МПК G01B11/26 

(21)4272488/24-28

(22)01.07.87

(46) 15.07.ЯО. Бюл. Р 26

(71)Институт повышения квалификации специалистов народного хозяйства ЛитССР

(72)А.И.Аугустантис, Р.И.Бансявичюс и В.П.Гинетис

(53)531.717:535.854 (088.8)

(56)Коронкевич В.П. и др. Современные лазерные интерферометры. - Новосибирск: Наука, 1985, с.32,78-81.

(54)СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ УГЛОВЫХ ПОВОРОТОВ ОБЪЕКТА

(57)Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, может быть использовано для измерения прямолинейности и плоскостности. Целью изобретения является повышение информативности за счет измерения угловых поворотов контролируемой поверхности в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Способ объекта заключается втом, что коллимировэнный поток излучения формируют сходящимся, делят его на два потока, каждый из которых направляют на зеркально отражающие поверхности, одну из них принимают за контролируемую, отражающие поверхности располагают на различных расстояниях от точек фокусировки сходящихся потоков. Отраженные от зеркальных поверхностей потоки совмещают и, наблюдая интерференционную картину, определяют положение ее центра. По модулю вектора смещения- центра интерференционной картины вычисляют угловые повороты контролируемой зеркальной поверхности. 1 ил.

S

(Л

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, может быть использовано для измерения прямолинейности и плоскостности. Целью изобретения является повышение информативности за счет измерения угловых поворотов контролируемой поверхности в двух взаимно перпендикулярных направлениях. Способ заключается в том, что коллимированный поток излучения формируют сходящимся, делят его на два потока, каждый из которых направляют на зеркально отражающие поверхности, одну из них принимают за контролируемую, отражающие поверхности располагают на различных расстояниях от точек фокусировки сходящихся потоков. Отраженные от зеркальных поверхностей потоки совмещают и, наблюдая интерференционную картину, определяют положение ее центра. По модулю вектора смещения центра интерференционной картины вычисляют угловые повороты контролируемой зеркальной поверхности. 1 ил.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения пря- молинейности и плоскостности.

Цель изобретения - повышение информативности за счет измерения угловых поворотов контролируемой поверхности в двух взаимно перпендикулярных направлениях.

На чертеже показана оптическая схема устройства.

Устройство содержит лазер 1, коллиматор 2, фокусирующую линзу 3, светоделитель 4, контролируемое зеркало 5, опорное зеркало 6, экран 7

блока отработки интерференционной картины.

Способ для-измерения малых угловых поворотов объекта состоит в том, что коллимированный поток излучения формируют сходящимся, делят на два потока и каждый из них направляют на соответствующую отражающую поверхность. Одна из поверхностей устанавливается на объекте, другая служит в качестве опорной. Отраженные от поверхностей потоки излучения совмещают и, наблюдая интерференционную картину на экране, определяют положение ее центра. По

СП

оо

Јь

05

Г

модулю вектора смещения центра интерференционной картины вычисляют угловые повороты зеркальной поверхности, а следовательно, и объекта. Если поверхность обеспечивает зеркальное отражение потока излучения, то объект можно устанавливать в потоке излучения непосредственно на некотором расстоянии от точки фокуса

Устройство., реализующее данный способ измерения, работает следующим образом.

Луч света, излучаемый лазером 1, проходит коллиматор 2, фокусируется линзой 3 в точку,А. Светоделитель 4 делит световую волну на две, которые отразившись от опорного зеркала 6 и контролируемого зеркала 5, как бы образуются двумя источниками излучения, расположенными в точках А и А,,, при этом поверхности находятся от этих источников на расстояниях 6 и а. Отраженные от з еркал 5 и 6 когерентные волны имеют сферические фронты и отличаются их радиусами. Интерферируя, они образуют на экране 7 блока обработки кольцевую структуру, положение модуля вектора центра которой и угол поворота контролируемого зеркала 5 связаны соотношением:

3 M(1/R, - 1/R2),, где М - модуль вектора смещения центра;

R j и R - радиусы фронтов интер- Ъерирующих волн.

а.

1578Д62

Измеряя модуль вектора смещения центра интерференционной картины, вычисляют угловые повороты контролируемого зеркала 5.

5

0

5

0

5

Формула изобретения

Способ измерения малых угловых поворотов объекта, заключающийся в том, что коллимированный поток излучения разделяют на два потока, один направляют на опорное зеркало, а другой - на контролируемое, совмещают отраженные потоки, регистрируют положение интерференционной картины и определяют угловое положение объекта, отличающийся тем, что, с целью повышения информативности за счет измеренит угловых поворотов контролируемого зеркала в двух взаимно перепендикулярных направлениях, в нем с помощью оптической системы перед разделением потоков формируют их сходящимися, опорное и контролируемое зеркала смещают из точек фокуса оптической системы, а угловое положение определяют по положению модуля вектора смещения центра интерференционной картины с оптической оси в соответствии с соотношением

} М (1/R, - 1/R2;, где М - модуль вектора смещения центра интерференционной картины; R, и R/2, - радиусы фронтов интерферирующих волн