| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| МОЩНАЯ СПИРАЛЬНАЯ ЛАМПА БЕГУЩЕЙ ВОЛНЫ | 2004 |
|
RU2285310C2 |
| РОТОР ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ МАШИНЫ | 2002 |
|
RU2223585C1 |
| УСТРОЙСТВО ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ (ВАРИАНТЫ) | 2014 |
|
RU2595266C2 |
| Магнитожидкостное уплотнение | 1986 |
|
SU1364811A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ | 1990 |
|
SU1832760A1 |
| УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМЕ | 1989 |
|
SU1697453A1 |
| САМОРЕГУЛИРУЮЩИЙСЯ ШУНТ | 1970 |
|
SU265295A1 |
| Магнитная система | 1986 |
|
SU1427425A1 |
| Устройство для ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленок в вакууме | 1990 |
|
SU1816288A3 |
| МАГНИТНАЯ СИСТЕМА ПЛАНАРНОГО МАГНЕТРОНА | 1995 |
|
RU2102527C1 |
Мишень для магнетронного распыления в вакууме, содержащая диск из распыляемого немагнитного материала с углублениями и концентричные полюсные наконечники, расположенные в углублениях, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе за счет уменьшения деформации мишени при ее разогреве, углубления выполнены с нераспыляемой стороны диска, а полюсные наконечники выполнены из материала, коэффициент линейного расширения которого превышает коэффициент линейного расширения материала диска, и жестко соединены с поверхностью углублений, причем их толщина составляет 0,3-0,5 толщины диска.
