Устройство для измерения линейных перемещений Советский патент 1990 года по МПК G01B5/14 

Ј

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений в отсчетных системах измерительных приборов, координатно-измерительных машин и стаканов. Целью изобретения является повышение точности измерений за счет ориентации каретки относительно подвижной головки посредством сферических упоров. При измерении головка 3 перемещает через опоры 5-7 каретку 4 по поверхности измерительной дифракционной решетки 2. При этом дифракционные полосы индикаторной решетки 14 перемещаются относительно дифракционных полос решетки 2 с высокой точностью за счет использования упоров 15-17, подпятников 20-22 и наконечников, закрепленных на каретке 4 посредством плоских пружин оппозитно опорам 5-7. 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных перемещений в от- счетных системах измерительных приборов координатно-измерительных машин и станков.

Цель изобретения - повышение точности измерений.

На фиг. 1 показана схема устройства для измерения линейных перемещений; на фиг.2 - разрез А-А на фиг.1; на фиг.З - разрез Б-Б на фиг.2.

Устройство содержит корпус 1, закрепленную в нем измерительную дифракционную решетку 2, отсчетную головку 3, установленную в корпусе 1 с возможностью перемещения вдоль решетки 2, установленную в головке 3 каретку 4 с опорами 5-7, контактирующими с рабочей поверхностью решетки 2, механизм прижима каретки 4,

выполненный в виде сферических наконечников 8-10, закрепленных на каретке 4 посредством плоских пружин 11-13 оппозитно соответствующим опорам 5-7, индикаторную дифракционную решетку 14, три сферические упора 15-17, установленные на головке 3 так, что ось упора 15 находится на линии считывания решетки 2, и пружины 18 и 19, поджимающие подпятники 20-22 к упарам 15-17.

Упор 17 выполнен с возможностью осевого перемещения. Головка 3 и каретка выполнена из легкого материала с большим сопротивлением на изгиб и сжатие и с высокой размерной стабильностью, например из сплава САС-1. Упоры 15-17 и подпятники 20-22 выполнены из сверхтвердого материала, например лейкосапфира. Благодаря этому каретка 4 обеспечивает точную координатную привязку. Устраняются также пеСП

00

Ю Ю

рекосы решетки 14 относительно решетки 2 и деформации из-за действия сил трения при перемещении и реверсе каретки 4,

Устройство работает следующим обр;э- зом.

Корпус 1 закрепляют на станине, а головку 3 - на подвижном органе станка или другого прибора для измерения линейных перемещений. Регулируют положение каретки 4 с помощью упора 17 до совмещения дифракционных полос на решетках 2 и 14. При перемещении головки 3 каретка 4 перемещается посредством опор 5-7 по поверх- ности решетки 2, обеспечивая относительное перемещение полос решетки 14 относительно полос решетки 2 с высокой точностью за счет ориентации каретки 4 относительно головки 3 в плоскости измерения с помощью упоров 15-17 и подпятников 20-22.

Формула изобретения Устройство для измерения линейных перемещений, содержащее корпус, закрепленную в нем измерительную дифракционную решетку, отсчетную головку,

установленную в корпусе с возможностью перемещения вдоль решетки, установленную в головке каретку с тремя опорами, контактирующими с рабочей поверхностью

решетки, механизм прижима каретки, индикаторную дифракционную решетку, установленную на каретке с возможностью взаимодействия с измерительной решеткой, отличающееся тем, что, с целью

повышения точности измерения, оно снабжено установленными на головке тремя сферическими упорами, оси которых расположены в плоскости, параллельной рабочей поверхности измерительной решетки так,

что оси двух из них перпендикулярны оси симметрии решетки, а ось третьего - параллельна ей, и тремя плоскими подпятниками, закрепленными на каретке и подпружиненными в направлении соответствующих сферических упоров, а механизм прижима каретки выполнен в виде трех сферических наконечников, закрепленных на каретке посредством плоских пружин оппозитно соответствующим опорам и контактирующих с

измерительной решеткой,

3 V

ю

Фие.1

7

Б-Б

70 а