Способ получения пленки заданной толщины Советский патент 1990 года по МПК G01B11/06 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении одно- и многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине.

Цель изобретения - расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным расположением показателя преломления по толщине.

На чертеже изображено устройство для контроля толщины пленки в процессе ее получения.

Устройство содержит лазер 1, светоделители 2-6, зеркала 7 и 8, фотоприемники 9-10 и модулятор 12.

Способ осуществляют следующим образом.

Монохроматический свет от лазера 1 с помощью световодителя 4 и зеркала 7 направляют на поверхность П2 участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом о( к ней, а на поверхность П1 участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулироУ1

эо г i

з

ванным потоком вещества, по нормали к ней. Задают шаг изменения угла, под которым направляют свет. Производят напыление на контрольный образец, в г процессе которого осуществляют модуляцию потока вещества с коэффициентом модуляции о, близким к единице (0,75 ,00), и ступенчато изменяют с заданным шагом угол о падения JQ света на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком Вещества. Определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обо- | их участков контрольного образца. Для этого пучок, отраженный от участка П1 , с помощью светоделителя 5 направляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от20

участка П2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5. При нулевой разности фаз напыление прекращают, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления25

пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки. По расчетным формулам определяют коэффициент модулирования при напылении На контрольный образец и подложку. Осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. С помощью светоделителей 2 и 3 и через светоделители 2, 4, 5 и 6 освещают образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, осуществляют модуляцию потока вещества, напыляемого на участок П1 контрольного образца, с определенным по расчетным формулам коэффициентом модуляции. Фотоприемниками 9 и 11 измеряют параметры пучков, полученных при отражении от участков П2 иП1 И прошедших по пути к фотоприемникам 9 и 11 соответственно через светоделители 3 и 6. По соотношению параметров судят о достижении заданной тол- щины,

Формула изобретения

Способ получения пленки заданной толщины, заключающийся в том, что50

30

35

40

45

0

0

5

0

5

производят напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, измеряют параметры пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине, перед напылением на подложку и контрольный образец направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, задают шаг изменения угла, под которым направляют свет, производят напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества с коэффициентом модуляции, близким к единице, и ступенчато изменяют с заданным шагом угол падения света на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности прекращают напыление, по параметрам упомянутой модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, а модуляцию потока вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют с коэффициентом модуляции, выбираемым в зависимости от оптической толщины.

П2 /7/

W/////////S//////(/77

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении одно- и многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Монохроматический свет направляют на часть поверхности контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на остальную часть поверхности образца по нормали к ней. Производят напыление на контрольный образец, в процессе напыления осуществляют модуляцию потока вещества и изменяют угол падения света. Определяют разность фаз пучков излучения, отраженных от участков контрольного образца. При нулевой разности фаз напыление прекращают. По параметрам осуществленной модуляции находят коэффициент модуляции при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка. При этом контрольный образец освещают монохроматическим светом и осуществляют модуляцию потока вещества с найденным коэффициентом модуляции. Определяют параметры отраженного света и по ним судят о достижении заданной толщины. 1 ил.

Составитель В. Костюченко Редактор Н. Тупица Техред А.Кравчук Корректор м. Кучерявая

Заказ 2246

Тираж 490

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное