Способ получения пленки заданной толщины Советский патент 1990 года по МПК G01B11/06 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при получении одно- и многослойных покрытий с заданным распределением показателя преломления по толщине.

Цель изобретения - расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине.

На чертеже изображено устройство для контроля толщины пленки в процессе ее получения.

Устройство содержит лазер 1, светоделители 2-6, зеркала 7 и 8, фотоприемники 9-11 и модулятор 12.

Способ осуществляют следующим образом .

Монохроматический свет от лазера 1 с помощью светоделителя 4 и зеркала 7 направляют на поверхность П2 участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на поверхность П1 участка контрольного образца, предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней. Производят напыление на контрольный образец, в процессе которого осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества. Модуляцию начинают осуществлять при коэффициенте модуляции, близком (или равном) к единице, В процессе напыления этот коэффициент ступенчато уменьшают

ел с со

XI

со о

через равные интервалы времени на постоянную величину, Определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков контрольного образца. Для этого пучок, отраженный от участка П1, с помощью светоделителя 15 направляют на фотоприемник 10, туда же направляют и пучок, отраженный от участка П2, с помощью зеркала 8 через светоделитель 5. При нулевой разности фаз напыление прекращают, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки. По расчетным формулам определяют коэффициент модуляции при напылении на контрольный образец и подложку, Осуществляют напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, С помощью светоделителей 2 и 3 светоделители 2, 4, 5 и 6 освещают контрольный образец монохроматическим светом, по нормали к поверхности, осуществляют модуляции потока вещества, напыляемого на участок ГИ контрольного образца, с определенным по расчетным формулам коэффициентом модуляции. Фотоприемниками 9 и 11 измеряют параметры пучков, полученных при отражении от участков П2 и П1 и прошедших по пути к фотопоиемникам 9 и 11 соответственно через светоделители 3 и 8. По соотношению параметров судят о достижении заданной толщины.

Формула изобретения Способ получения пленки заданной толщины, заключающийся в том, что производят напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, измеряют параметры пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка, и по соотноше- нию параметров судят о достижении заданной толщины, отличающийся

тем, что, с целью расширения технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине, перед напылением на подложку и контрольный образец направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней,а-на поверхность участка контрольного

образца, предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, по нормали к ней, производят напыление на контрольный образец и в процессе напыления осуществляют монотонно ступенчато

меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности прекращают напыление, по параметрам осуществленной модуляции определяют показатель преломления пленки и соответствующую этому показателю оптическую толщину пленки, а модуляцию потока вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца при напылении на контрольный образец и подложку, осуществляют с коэффициентом модуляции, выбираемым в зависимости от оптической толщины.

Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является расширение технологических возможностей путем получения пленок с заданным распределением показателя преломления по толщине. Для этого предварительно направляют монохроматический свет на поверхность участка контрольного образца, не предназначенную для напыления модулированным потоком вещества, под углом к ней, а на оставшуюся поверхность - по нормали, и производят напыление, в процессе которого осуществляют монотонно ступенчато меняющуюся во времени модуляцию потока вещества, определяют разность фаз пучков излучения, отраженного от обоих участков, и при нулевой разности напыление прекращают, по параметрам осуществленной модуляции рассчитывают коэффициент модуляции, напыляют вещество на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают контрольный образец монохроматическим светом по нормали к поверхности, модулируют поток вещества, напыляемого на один из участков контрольного образца, с рассчитанным коэффициентом модуляции, измеряют параметры пучков, полученных при отражении от участков контрольного образца, и по соотношению параметров судят о достижении заданной толщины. 1 ил.