Криоадсорбционный насос Советский патент 1990 года по МПК F04B37/02 

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к криоадсорбционным насосам.

Цель изобретения - увеличение ресурса работы за счет улучщения условий теплообмена между адсорбентом и криогенным элементом.

На фиг. 1 представлен криоадсорбцион- ный насос, продольный разрез; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1.

Криоадсорбционный насос включает криоэлемент 1, установленный на фланце 2 и окруженный радиационным экраном 3. На конической поверхности криоэлемента 1 размещены чередующиеся хладовводы 4 и слои волокнистого адсорбента 5 (например, КУТ-2), которые прижаты друг к другу при помощи гайки 6 и щайбы 7 с усилием не менее 4 кг/см. В теле криоэлемента 1, имеющего форму усеченного конуса с углом при верщине не более 12° выполнены два глухих отверстия 8 так, что в верхней части они смыкаются, образуя канал охлаждения. В отверстия 8 впаяны подводящая 9 и отводящая 10 трубки, через которые хладагент проходит в канал охлаждения, образованный отверстиями 8, и выходит из него. Радиационный экран 3 соединен надежным тепловым контактом с отводящей трубкой 10.

В нижней части криоэлемента 1 имеется фланец, служащий опорой для пакета хладовводов 4 и слоев адсорбента 5. Хладовводы 4 и слои адсорбента 5 имеют форму дисков с одинаковым внещним диаметром, равным диаметру опорного фланца криоэлемента и разные диаметры центральнь1х отверстий. Причем, сложенные вместе они образуют стопу с внутренней конусной расточкой, имеющей конусность, равную конусности криоэлемента 1. В сборе хладовводы 4 и

слои адсорбента 5 туго натянуты на конус криоэлемента 1 и спаяны с ним.

Криоадсорбционный насос работает следующим образом.

При пропускании хладагента через труб ки 9, 10 и охлаждающий канал 8 криоэлемент 1 захолаживается и, благодаря надеж-, ному тепловому контакту происходит захолаживание хладоводов 4 и прижатого к хладо- водам волокнистого адсорбента 5. После до5 стижения адсорбентом 5 рабочей температуры насос начинает эффективно откачивать газ.

Процесс десорбции происходит при подаче через канал 8 нагретой жидкости или газа и «сопутствующей этому откачке камеры

0 насоса внещним источником вакуумирования.

Формула изобретения

1.Криоадсорбционный насос, содержащий криоэлемент; размещенный на фланце,

5 и установленные на последнем чередующиеся между собой с тепловым контактом хладовводы и слои адсорбента, отличающийся тем, что, с целью увеличения ресурса работы за счет улучшения условий теплообме.„ на между адсорбентом и криоэлементом, последний выполнен в виде усеченного конуса с углом при верщине не более 12°, а хладовводы и адсорбент выполнены в виде пластин с центральными отверстиями разного диаметра, образующими внутрен5 нюю конусную расточку с конусностью, соответствующей конусности криоэлемента.

2.Насос по п. 1, отличающийся тем, что криоэлемент снабжен по меньщей мере двумя каналами охлаждения, выполненными в виде глухих отверстий, расположенных

0 под углом друг к другу и смыкающихся в верхней части.

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к криоадсорбционным насосам. Целью изобретения является увеличение ресурса работы насоса за счет улучшения условий теплообмена между адсорбентом (А) и криогенным элементом (Э). При пропускании хладагента через трубки 9, 10 и канал 8, образованный просверленными в теле Э 1 отверстиями, происходит его захолаживание, а также захолаживание хладовводов (ХВ) и А, слои которого, чередуясь с дисками ХВ, расположены на боковой поверхности Э 1 и прижаты к фланцу, находящемуся в нижней части Э 1. Для улучшения теплового контакта боковая поверхность Э 1 и отверстия ХВ предварительно облужены. Слои волокнистого А воспринимают давление 4 кг/см², создаваемое гайкой 6. Радиационный экран 3, соединенный с надежным тепловым контактом с отводящей трубкой 10 защищает насос от теплового излучения со стенок откачиваемой камеры, к которой насос присоединяется при помощи фланца 2. Данная конструкция позволяет получить эффективное охлаждение А благодаря надежному обеспечению высокотеплопроводного контакта между Э 1 и ХВ и между ХВ и слоями А. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Фиг. 2