Устройство двустороннего контактного фотокопирования Советский патент 1990 года по МПК G03B27/02 

Изобретение относится к устройствам для экспонирования при контактном печаташш, в частности предназначено для двусторонней контактной фотопечати.

Целью изобретения является упроще- конструкции с одновременным у 1еньшением металлоемкости, энергопотребления, расширение функциональных возможностей за счет обеспечения копирования на основе металлизированных масок, а также повышение качества фотокопирования.

На фиг. 1 представлена принципи- . альная схема устройства в положении зазора между фотошаблонами при .перемещении экспонируемого материала с оторезистивными слольш,; на фиг. 2 - то же, в положении контакта фотошабона с материалом при экспонировании оторезистивных слоев.

Устройство состоит из плиты 1, прозрачного основания 2, вакуумной рамы 3, мембраны 4, канала 5 разрежения, упругих направляющих 6 и 7, прокладок 8 и 9, фотошаблонов 10 и 11, источников 12 и 13 актнничного излучения, экспонируемого материала в Bi-ще ленты с фоторезистивными слоями 14, светоотражающих покрытий 15 и 16 на основании и на мембране, упругих элементов 17 и 18 для подъема вакуумной рамы.

Устройство работает следующим образом.

Узел совмещения и копирования, представляющий собой совмещенные фотошаблоны 10 и 11 на упругих прямоугольных направляющих б и 7, распоагается на прозрачном основании 2 в вакуумной раме 3. При отсутствии ва- куумирования имеется зазор между шaбдoнa И за счет упругости материала направляющих б и 7 и зазор между рамой 3 и основанием 2, осуществляемый поднятием рамы упругими элементами 17 и 18.

При вакуумировании через канал 5 разрежения вакуумная рама 3 опускается и плотно прижимается к основанию, что способствует дальнейшему разрежению объема под вакуумной, рамой 3 и авлешпо мембраны 4 на упругую на- правляющзпо б, что обеспечивает в конечном итоге плотньй контакт фотошаб- лона 10 с верхним фоторезистивным слоем материала 14 и нижнего фоторе- яистивного слоя материала 14 с фото

0

5

0

5

0

5

0

5

шаблоном 11. После обеспечения контакта производится экспонирование фоторезистивных слоев источниками 12 и 13 актиничного излучения сквозь экспозиционные окна в упругих направляющих 6 и 7, сквозь отверстие в основании 2 и сквозь незапщщенные отражающим покрытием участки поверхности основания 2 и мембраны 4, По окончании экспонирования после снятия вакуумирования через канал 5 разрежения снимается давление на мембрану 4 и вакуумную раму 3 и обеспечивает-- ся под действием сил упругости материала направляющей 6 зазор между фотошаблонами 10 и 11 и под действием упругих элементов 17 и 18 зазор между вакуумной рамой 3 и основанием 2.

Перемещение материала с фоторезистивными слоями с гарантированным зазором между фотошаблонами исключает повреждение фоторезистивных слоев на материале основой фотошаблона и повреждение и равно загрязнение маскирующего слоя 4 отошаблона, что определяет качество фотокопирования. I В предлагаемом устройстве узел совмещения выполнен в виде двух упругих параллельно расположенных прямоугольных направляющих, соединенных между собой по торцовой стороне посредством прокладок, зазор между которыми соответствует величине

L 2а + b,

где а - толщина одного фотошаблона, b - зазор между фотошаблонами, равный

ь b -- ,

где 2 - касательная напряжения,

G - модуль упругости направляющих, выпапненных из изотропного материала,

при этом в направляющих узла совмещения выполнены соосные экспозиционные окна, а средство вакуумирования выполнено в виде одного канала разрежения .

V

Кроме того, в устройстве в прозрачном основании выполнено отверстие, соответствующее по форме экспозиционным окнам направляющих, и нанесено светоотражающее покрытие на

мембрану вакуумной рамы и на основание вне экспозиционных окон,

Прямоугольность направляющих определена тем, что напряженному состоянию чистого сдвига соответствует напряженное состояние по двум взаимно перпендикулярным площадкам.

Ввиду отсутствия необходимости выполнения вакуумных присосок для фотошаблонов в основании и в вакуумной раме и других конструктивных доработок в целях обеспечения зазора между шаблонами конструкция предложенной вакуумной рамы обладает меньшей сложностью и меньшей металлоемкостью. При этом достижение зазора и контакта между основанием и рамой достигается не подачей и отводом воздуха, а только отводом воздуха и применением упр-угих элементов, благодаря указанному упрощению и уменьшению металлоемкости, что непосредственно ведет к уменьшению энергопотребления устройства в целом.

Наличие в прозрачном основании отверстия, соответствующего по форме и размерам экспозиционным окнам направляюших, совместно с нанесенным на остальную поверхность основания и на поверхность мембраны светоотг- ражаю1цим покрытием обеспечивает повышение качества изображения при фотокопировании за счет снижения температурных погрешностей при экспонировании. Отверстие в прозрачном основании способствует уравнению величин потоков актиничного излучения при экспонировании верхнего и нижнего слоев фоторезиста, осуществляемого расположенными с двух сторон источниками .

Таким образом, конструкция пред- лагаемого устройства обладает меньшей сложностью и меньшей металлоемкостью, что ведет также к уменьшению .энергопотребления устройства в целом В устройстве расширены функциональные возможности в связи с обеспечением копирования на основе металлизированных масок, что ведет к повышению качества фотокопировашя.

Р м у л а и

А

3 о

бретения

0

5

0

5

0

1. Устройство двустороннего контактного фотокопирования, содержащее два совмещенных относительно друг друга фотошаблона, расположенные в вакуумной раме на прозрачном основании узла совмещения и копирования, снизу и сверху относительно которого установлены осветители, и средства вакуумирования, отличающее- с я тем, что, с целью упрощения конструкции с одновременным уменьшением металлоемкости и энергопотребления и расширения функциональных возможностей за счет обеспечения копирования на основе металлизированных масок, узел со мещения и копирования выполнен в виде упругих параллельно распопоженньп; прямоугольных направляющих, соединенных между собой по торцовым сторонам посредством прокладок, зазор между которыми соответствует величине

L 2а + Ь,

где а - толшина одного фотошаблона, b - зазор между фотошаблонами, равный

G

5

0

5

0

где

- и

Р „

касательная напряжения; модуль упругости направляющих,, выполненных из изотропного упругого материала, при этом в направляющих узла совмещения выполнены сооспые экспозиционные окна, а средство вакуумнрования выполнено в виде одного канала разрежения.

2. Устройство по Па 1, о т л и - ч а ю щ е е с я тем, что, с цепью повьш1ения качества изображения при фотокопировании за счет снижения температурных погрешностей, в прозрачном основании выполнено отверстие, соответствующее по форме.экспозиционным окнам направляюш {х, а на мембране вакуумной рамы и на основании вне экспозиционных окон нанесено светоотражающее покрытие.

п5

Изобретение относится к устройствам для экспонирования при контактном печатании. Цель изобретения - упрощение конструкции устройства, снижение его металлоемкости и энергопотребления, а также расширение функциональных возможностей. Устройство содержит плиту 1, прозрачное основание 2, вакуумную раму 3, мембрану 4, канал 5 разрежения, упругие направляющие 6 и 7, прокладки 8 и 9, фотошаблоны 10 и 11, источники 12 и 13 активного излучения, экспонируемый материал 14, светоотражающие покрытия 15 и 16 на основании 2 и мембране 4, упругие элементы 17, 18 для подъема вакуумной рамы 3. При отсутствии вакуумирования имеются зазор между шаблонами 10, 11 за счет упругости материала направляющих 6 и 7 и зазор между рамой 3 и основанием 2. При вакуумировании через канал 5 вакуумная рама 3 опускается и плотно прижимается к основанию 2, мембрана 4 давит на упругую направляющую 6, обеспечивая плотный контакт фотошаблона 10 с верхним фоторезистивным слоем материала 14 и нижнего фоторезистивного слоя материала 14 с фотошаблоном 11. После экспонирования объем вакуумной рамы 3 заполняется атмосферным давлением, что обеспечивает зазор между фотошаблонами 10 и 11 под действием сил упругости направляющей 6 и зазор между вакуумной рамой 3 и основанием 2 под действием упругих элементов 17 и 18. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Редактор Е.Кспча

Составитель В.Архипов

Техред М.ДвдыкКорректор А.Осауленкс

За.каэ 3549

Тираж 375

ВНИИПК Государственного комитета по изобретениям и. открытиям при ГКНТ СССР П3035, Москва, Ж-ЗЗ, Раушская набо д„ Д/5

ПронзБодственно-издатальский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 101

Подписное