Способ извлечения изделия из вакуумного объема Советский патент 1990 года по МПК H01J37/20 

Изобретение относится к вакуумному машиностроению и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных покрытий и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме, например для ожёг электронной спектроскопии.

Цель изобретения - упрощение за счет повышения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме.

На чертеже представлена схема устройства, поясняющая реализацию способа.

Устройство содержит рабочий вакуумный объем 1, на стенке которого под углом к ней герметично укреплен закрытый желоб 2 с фланцем 3. На жег-, лобе 2 с помощью фланца 4 и вакуумных уплотнений 5 укреплена металлическая. труба 6. Длина трубы 6 определяется

количеством извлекаемых изделий. Тру- бу 6 целесообразно выполнить из вакуумного материала, например из бескислородной меди. Для повышения надежности герметизации целесообразно внут- , реннюю поверхность трубы 6 залудить оловом или индием. Для-обеспечения механической прочности отпайки целесообразно использовать трубы диаметром 8-45 мм с толщиной стенки 0,5- 1,5 мм, что определяется используемым для отпайки оборудованием (ручные клещи, специальные тиски). В объеме 1 установлен манипулятор 7. для перемещения. изделия.

Конкретную реализацию спосоой можно показать на примере извлечения из объема. 1 пластин 8 размером ЗОхЗОх х6 мм. Пластина 8 с помощью манртуля- тора 7.подается на наклонный желоб 2,

05

N0 СО 4

с KOTOpoi o она соскальзывает в металлическую трубу 6. Герметичное перекрытие трубы 6 осуществляется с. помощью специальных кусачек путем ежа- тйя трубы. Затем проводят разгерметизацию отделенного участка и извлекают пластину 8. С помощью манипуля- т)эра 7 на желоб 2 и в трубу 6 подают с|1едующую пластину 8, и операцию изв- лзчения повторяют.. .

Формула изобретения

Способ извлечения изделия из ваку- объема, включающий перенос изделия из вакуумного объема в камеру, соединенную с вакуумным объемом, и отделение изделия от вакуумного объема, отличающийся тем, что, с целью упрощения путем повьше- ния стабильности степени разрежения в вакуумном объеме, в качестве камеры используют герметично перекрытую с одного конца металлическую трубу, а отделение изделия осуществляют путем холодной отпайки з частка трубы, в ко- торьй перенесено изделие.

Изобретение относится к области вакуумного машиностроения и может быть использовано в вакуумных установках для нанесения пленочных материалов и для проведения исследований материалов в сверхвысоком вакууме. Цель изобретения - упрощение за счет повышения стабильности степени разрежения в вакуумном объеме. Способ включает перенос изделия из вакуумного объема в герметично перекрытую с одного конца металлическую трубу и извлечения изделия путем холодной отпайки участка трубы, в который перенесено изделие. 1 ил.