Устройство для зондирования микросхем в растровом электронном микроскопе Советский патент 1990 года по МПК H01J37/26 

Фиг,1

Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел. Цель изобретения - повышение надежности и упрощение конструкции достигается путем размещения пьезоподъемника в зондовой карте и выполнения его в виде биморфного пьезокерамического кольца, на котором закреплены зондирующие иглы. Устройство содержит столик, над которым расположена зондовая карта 3 с пьезоподъемником 4, на котором закреплены зондирующие иглы 5. Пьезоподъемник 4 выполнен в виде двух пьезокерамических колец 7, соединенных через металлическую шайбу 8. Кольца 7 снабжены электроводводами 9. На предметный столик помещают исследуемую интегральную схему и подают на биморфное кольцо пьезоподъемника 4 напряжение. Внутренняя часть пьезоподъемника 4 изгибается книзу и иглы 5 опускаются до контакта с образцом. По завершении исследования образца напряжение с биморучного кольца снимают и иглы поднимаются в исходное положение. Использование устройства позволяет упростить конструкцию пьезоподъемника, а также управлять его работой с помощью микропроцессора. 2 ил.