Устройство для контактирования интегральных схем в растровом электронном микроскопе Советский патент 1991 года по МПК H05K1/11 

Фиг

Изобретение относится к устройствам для исследования микроструктуры и топографии твердых тел и может применяться в микроэлектронике для контроля и диагностики многослойных печатных плат, СБИС, материаловедения, физике твердого тела, металлургии, геологии.

Цель изобретения - повышение надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещений блока зондов.

На фиг.1 представлено устройство, вид спереди; на фиг.2 - то же, вид сверху; на фиг 3 - соединение между зондодержате- лем и блоком зондов.

Устройство для контактирования интег- ральных схем содержит столик 1 и зондодержатель 2 с иглами 3. Зондодержатель 2 связан с электромагнитом 4 посредством толкателя 5 и имеет центральное подвижное кольцо 6. Между зондодержателем 2 и блоком зондов 6 установлено биморфное пьезокерамическое кольцо 7, являющееся составной частью поджимающего узла 8. В состав узла 8 входит также болт 9 и пружина 10.

Устройство работает следующим образом.

Исследуемая интегральная схема помещается на столик 1, размещенный в вакуумном объеме. Включается электронный луч, и с помощью электромагнита 4 опускается зондодержатель 2 до максимального сближения (но не контакта) игл с интегральной схемой. На пьезокерамические биморфные кольца 7 подаются электрические импуль- сы, что приводит к выгибанию их центров и, соответственно, перемещению блока зондов 6 до контакта игл 3 с исследуемой интегральной схемой. При снятии напряжения с биморфных колец иглы 3 выводятся из контакта и после горизонтального перемещения столика под электронный луч подставляется новый участок микросхемы, и исследования продолжаются,

Применение устройства позволяет упростить конструкцию пьезоподъеника и процесс управления им, а также легко увязать работу пьезоподьемника с микропроцессорами и ЭВМ. Важным преимуществом устройства является возможность его работы при отключенном напряжении, питающем биморфное пьезокерамические кольца.

Формула изобретения

1.Устройство для контактирования интегральных схем в растровом электронном микроскопе, содержащее размещенные в вакуумном объеме столик, зондодержатель с блоком зондов, образующих контактное поле, установленный с возможностью перемещения по направлению нормали к столику, и узел поджатия с пьезокерамическими элементами, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещения и блока зондов, пьезокерамические элементы узла поджатия выполнены из биморфной пьезокерамики.

2.Устройство по п. 1,отличающееся тем, что пьезокерамические элементы выполнены в форме шайб и прижаты к зон- додержателю головками болтов, закрепленных в блоке зондов и подпружиненных пружинами сжатия относительно зондодер- жателя.

Изобретение относится к устройствам для исследования макроструктуры и топографии твердых тел и может применяться в микроэлектронике для контроля и диагностики многослойных печатных плат, СБИС, в физике твердого тела, металлургии, геологии. Цель изобретения - повышение надежности контактирования путем упрощения привода макроперемещений блока зондов. Устройство для контроля контактирования интегральных схем содержит столик 1, зон- додержатель 2 с иглами 3, электромагнит 4, толкатель 5, центральное подвижное кольцо 6,биморфное пьезокерамическое кольцо 7,являющееся составной частью поджимающего узла 8, в состав которого входят блот и пружина. Устройство может работать при отключении напряжения, питающего биморфное пьезоэлектрическое кольцо. 1 з п ф-лы, 3 ил. fe

Фиг 2

5чч

Фиг.З

ТТ7

ЧЧЧЧЧЧЧЧ