Способ определения шероховатости поверхности изделия Советский патент 1991 года по МПК G01B11/03 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к бесконтактным оптическим методам измерения высоты шероховатости поверхности, и может быть использовано во многих отраслях народного хозяйства, в частности в прецизионном приборостроении

Цель изобретения - обеспечение возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия до плоскости наблюдения

На чертеже изображена принципиальная схема устройства, реализующего способ определения шероховатости поверхности изделия

Устройство содержит лазер 1, сканирующий интерферометр 2 пьезоэлемент 3, блок 4 управления пьезозлементом 3 линзу 5, узел б наблюдения пространственный фильтр 7 и фотоприемник 8

Предлагаемый способ осуществляется следующим образом

Луч лазера 1 направляют в сканирующий интерферометр 2 который разделяет его на две части и вносит между ними оптическую разность хода Вышедшее из сканирующего интерферометра 2 излучение фокусируют на поверхности изделия 9 под углом а В плоскости узла 6 наблюдения, перпендикулярной лучу, отраженному от исследуемой поверхности, наблюдают дифракционную картину промодулирсванную интерференционными полосами С помощью пространственного фильтра 7 выделяют на дифракционной картине в диффузной области единичную полосу, световой поток в которой измеряют с помощью фотоприемника 8 Изменяют с помощью сканирующего интерферометра 2 вносимую

О

оптическую разность хода и измеряют сиг- мал с фотоприемника 8, находят контраст единичной полосы по формуле

- 1

МИН

1

+ U

Г

где IMBKC и 1Мин сигналы с фотоприемника. По контрасту единичной полосы судят о шероховатости изделия 9.

, Формула изобретения

Способ определения шероховатости поверхности изделия, заключающийся в том, что направляют пучок когерентного излучения на исследуемую поверхность, делят его на два пучка, создают между ними оптическую разность хода, фокусируют оба пучка на поверхность исследуемого объекта,

наблюдают в плоскости, перпендикулярной отраженному от исследуемой поверхности пучку, интерференционные полосы, выделяют с помощью пространственного фильтра

единичную интерференционную полосу, производят сканирование разности хода, фиксируют изменение интенсивности единичной полосы и по ее контрасту определяют шероховатость поверхности изделия,

отличающийся тем, что, с целью обеспечения возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия

до плоскости наблюдения, оставляют изделие неподвижным, а сканирование разности хода производят во времени на величину, равную или большую длине волны излучения.

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к бесконтактным оптическим методам измерения высоты шероховатости поверхности и может быть использовано во многих отраслях народного хозяйства, в частности в прецизионном приборостроении Цель изобретения - обеспечение возможности определения шероховатости изделий любой формы за счет создания неизменного расстояния от поверхности измеряемого участка изделия до плоскости наблюдения Изделие оставляют неподвижным и производят сканирование оптической разности хода во времени с помощью сканирующего микроскопа изменяющего вносимую оптическую разность хода между пучками на величину, равную или большую длине волны излучения замеряют изменение интенсивности единичной интерференционной полосы и по ее контрасту судят о шероховатости изделия 1 ил

7