Радиометрический манометр Советский патент 1991 года по МПК G01L21/26 

Фиг. 1

Изобретение относится к вакуумной измерительной технике и может быть использовано для измерения степени разрежения газа.

Цель изобретения - повышение чувствительности манометра,

На фиг. I изображен манометр, продольный разрез; на фиг. 2 - вид А на фиг, 1 (приводная лопасть и дополни- тельная пластина).

В стеклянном корпусе 1 манометра со штенгелем 2 и азотной ловушкой 3 установлена игольчатая опора 4, на острие которой расположен подпятник 5 вертушки 6 с многослойными приводными лопастями 7. В ловушке 3 размещен индуктор 8, связанный с генератором токов высокой частоты (не показано). На игольчатой опоре 4 под вер- тушкой 5 укреплены дополнительные пластины 9, расположенные под одним углом с приводными лопастями 7 вертушки 6. Лопасти 7 вертушки 6 и пластины 9 выполнены многослойными. При этом они составлены из слоев 10 немагнитного материала с низкой теплопроводностью, например, слюды, на поверхностях которых, обращенных друг к другу, нанесен слой ферромагнитно- го материала 1I, например, никеля.

Манометр работает следующим образом,

Корпус 1 через штенгель 2 соединяется с откачиваемым объемом и охлаждается жидким азотом, залитым в ловушку 3. Высокочастотное поле индук- .тора 8 нагревает приводные лопасти 7 и дополнительные пластины 9, создавая на их наружных поверхностях гра- диент температур. Молекулы соударяющихся с нагрвтой поверхностью приводных лопастей 7, сходят с нее с большей тепловой скоростью, чем с ненагретой и передают вертушке 6 суммар-

.

Q

,

5

ный импульс реактивного движения. Дополнительные пластины 9 сообщают соударяющимся с ними молекулам остаточного газа дополнительную энергию, нагревают их и фокусируют на приводных лопастях 7, в результате чего вертушка 6 получает дополнительный импульс активного приводного момента.

По достижении установившегося вращения измеряют число оборотов вертушки 6, которое зависит от степени разрежения в корпусе 1,

В предлагаемом устройстве реализуется повышенный приводной момент за счет добавочного активного импульса, что обеспечивает увеличения числа оборотов вертушки и, как следствие, повышение чувствительности манометра,

Формула изобретения

Радиометрический манометр, содержащий корпус со штенгелем и ловушкой по оси которого в полусферическом подпятнике на игольчатой опоре установлена вертушка с многослойными приводными лопастями, одна из наружных поверхностей которых покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая - слоем немагнитного, и индуктор токов высокой частоты, связанный с генератором, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, в корпусе в зоне действия индуктора на изолированной державке установлены введенные в манометр многослойные пластины из теплоизоляционного материала, поверхности которых, обращенные к ферромагнитным поверхностям приводных лопастей, покрыты слоем ферромагнитного материала, при этом приводные лопасти и пластины наклонены под одинаковым углом к оси вертушки.

ВидА

Изобретение относится к вакуумной измерительной технике, в частности к радиометрическим манометрам, и позволяет повысить чувствительность манометра, Повышение чувствительности обеспечивается установкой дополнительных пластин 9, установленных под одинаковым углом с приводными лопастями 7 к оси манометра, благодаря чему приводные лопасти 7 воспринимают дополнительный движущий импульс количества движения, что позволяет повысить обороты вертушки 6 и расширить также диапазон измерения. 2 ил.

Фиг. 2

Ю