Радиометрический манометр Советский патент 1982 года по МПК G01L21/26 

Изобретение относится к вакуумной .метрике, конкретнее - к средствам измерения параметров разреженного газа.

По основному ав.св. № 537276 известен радиометрический манометр, слежащий для измерения вакуума и содержащий корпус, внутри которого установлена вертушка с приводными лепестками, и индуктор генератора токов высокой частоты. Приводные лепестки вертушки выполнены многослойными с чередованием слоев металлизированной слюды, причем одна из наружных поверхностей лепестков покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая - слоем немагнитного материала Ц.

Использование такого манометра сводится к определению уровня вакуума как в статической, так и в динамической вакуумной системе, что, однако, не позволяет оценивать с его помощью величины газовых потоков параметров, характеризующих загазованность и степень герметичности вакуумной систегФл.

Цель изобретения - расширение функциональных возможностей устрюйства, т.е. возможность определения

величин газовых потоков в вакуумной системе.

Цель достигается тем, что радиометрический манометр снабжен вакуумируемой емкостью с идентичной вертушкой и входным отверстием, размещенной внутри индуктора, а корпус снабжен выходным патрубком, соединенным через трехходовой вентиль с

10 входом емкости, при этом на входе корпуса установлен запорный элемент.

На чертеже схематично изображен радиометрический манометр (прммер применения манометра при определении

15 величин газовых потоков для случая определения суммарной негерметичности вакуумированного изделия).

Радиометрический манометр включает индуктор 1 генератора 2 токов вы20сокой частоты, внутри которого установлены корпус 3 манометра с вертушкой 4 на игольчатой опрре и соединенный через трехходовой вентиль 5 с емкостью б с вертушкой 7. На входе

25 корпуса 3 установлен зг(порный элемент 8, отсекающий в схеме определения негерметичности вакуумируемое изделие 9, а к трехходовому вентилю 5 подключен вакуумный насос-10. Индук30тор размещен в азотной ловушке (на