Радиометрический манометр Советский патент 1976 года по МПК G01L21/26 

10, поверхность которого покрыта напыленным слоем меди 11 со степенью черноты Е 0,012 и металлический ферромагнитный слой 12.

Манометр работает следующим образом. Корпус 1 через штенгель 2 соединяется с откачиваемым объемом и охлаждается жидким азотом, залитым в ловушку 3; после включения генератора 9 высокой частоты ток по проводникам 8 поступает к индуктору 7 и электромагнитное поле индуктора 7 нагревает ферромагнитны|1 слой 12 вертушки 6, жестко закрепленной на подпятнике 5, опираюш.емся на игольчатую ;опору 4. При этом отдельные слои 10 лепест1 а из-за низкой теплопроводности создают градиент температур на наружных поверхностях.

Вертушка 6 приводится во враш,ательное движение благодаря тому, что молекулы, соударяюп1иеся с нагретой поверхностью сходят с нее с большей тепловой скоростью, чем с ненагретои и передают суммарный импульс движения в сторону блестящей поверхности.

По достижении установившегося движения измеряется скорость вращения вертушки 6, которая зависит от степени вакуума.

Формула изобретения

Радиометрический манометр, содержащий корпус с азотной ловущкой, внутри которого установлена вертушка с приводными лепестками, отличающийся тем, что, с целью расширения диапазона измеряемых давлений и увеличения чувствительности, он снабжен установленным в азотной ловушке индуктором, связанным с генератором токов высокой частоты, а лепестки вертушки выполнены многослойными с чередованием слоев металлизированной слюды, при этом одна из наружных поверхностей лепестков покрыта слоем ферромагнитного материала, а другая слоем немагнитного материала, например меди.

J -Л

-