Способ активации фоточувствительных пленок сульфида свинца Советский патент 1992 года по МПК H01L31/18 

Иэобретение относится к полупроводниковому материаловедению, а точнее к методам получения шоточувстви- тельных материалов, и может использовано для получения фоточувствительных пленок путем их активирования.

Цель изобретения - повышение фоточувствительности и сокращение времени активирования.

На чертеже приведена блок-схема установки для активирования ГГЛРЧОК сульфида свинца,

Образцы помещаются в реактор 1, представляющий собой кварцевую трубу с нагревателем. В реактор подается газовая смесь , Необходимое р 0 задается и контролируется бпоком 2 на основе метода двух давлений, Р$2задается и контролируется блоком 3 с помощью твердо эле к-- тролитного кислородного насоса, Рдц задается и контролируется блоком 4,

В таблице приведены параметры исследованных образцов пленок сульфида свинца и режимы их активации.

Исследованию подвергались пленки, полученные термическим испарением в вакууме сернистого свинца и осаждением его на подогретые стеклянные подложки. Средняя толщина пленок составляет 1,4 мкм. Далее с пленок удалялся аморфный налет, представляющий собой рыхлое, сильно раэорнекти- рованное поверхностное покрытие из сульфида свинца. В одном экспериман™

3162

те по активированию участвовало не менее четырех штук пленок, результаты измерения фотоэлектрических параметров (ФЭП), которых усреднялись. Для измерения ФЭП на поверхность активированных пленок наносились тонкопленочные золотые электроды термическим испарением золотой проволочки в вакууме. Золотые электроды обеспечивали омические контакты с окисленной пленкой сульфида свинца. Одинаковые размеры фоточувствительных площадок обеспечивались с помощью маски при нанесении золотых элек- тродов

Проводили измерения сл едующих ФЭШ теиновос с опрохивлениеэ среднеквадратичное напряление шумл U,, напряжение сигнала U, Измерения ФЭП пленок про- водили при комнатной температуре на универсальной и верительной установке К54.410 ПРИ счедукшппс условиях: температура АЧТ 573 К3 частота модуляции лучистого потока 400 Гц, напряжение смещения 20 В, полоса пропускания усис „-ельного тракта 356 Гц,

Параметр фоточувствительности вычислялся по формуле

„

D

где ДЈ - полоса пропусканий усилительного тракта, Гц; А площадь чувствительного элемента, см «

к

Uc

ш

9

коэффициент усиления;

плотность лучистого потока,

Вт/см8 о

Постоянная времени фотопроводимости измерялась либо по спаду фотопроводимости либо рассчитывалась по частотной характеристике по стан4 дартной методике. .. , /

Предельное значение напряжения шума (U) составляет 16 мкВ и определяется нормативными актами.

Как следует из таблицы, при скоростях нагрева больших 40 град/мин из-за растрескивания поликристаллических пленочных образцов происходит деградация их параметров (увеличивается напряжение шума). Снижение скорости нагрева ниже 30 град/мин практически не сказывается на улучшении характеристик, однако приводит к увеличению времени активирования (что находится в противоречии с целью изобретения), Поэтому оптимальной ско ростьга нагрева является скорость в диалазоне 30-40 град/мин.

Формула изобретения

Способ активации фоточувствительных пленок сульфида свинца, включающий нагревание пленки до 580-600 С, выдержку и охлаждение ее в кислоррдо- содер/кацгей атмосфере, отл,ичаю- щ и и с я тем, что, с целью повышения фоточувствительности и1 сокращения времени активирования, процесс ведут в реакционной камере со скоростью продувки 1 см /мин в атмосфере газовой смеси, содержащей кислород, пары воды и аргон, при следующем соотношении давлений, атм:

I

О. (1-8). Ю-

%° (1р84-2,10)

Аг Остальное,

нагревают со скоростью 30 40 град/мин, выдерживают в течение 5-10 мин5 охлаждают со скоростью 13d- 20 град/мин до комнатной температуры.

Изобретение относится к полупроводниковому материаловедению, а точнее к катодам получения фоточувствительных материалов, может быть использовано в полупроводниковой технике и позволяет повысить фоточувствительность пленок и сократить время активирования. Цель изобретения - повышение фоточузствнтельно- сти и сокращение времени активирования. Процесс ведут в атмосфере газовой смеси, включающей кислород, соду, аргон при следующем соотноше- нци давлений, атм: 07 (1-8) Н20 (1,84-2,10) остальное - apioHs нагревают пленку со средней скоростью 30-40 град/мин, выдерживают пленку в течение 5-10 мин, охлаждают пленку со средней скорость 15-20 град/мин до комнатной температуры. 1 ил., 1 табл,

28,5 19,7 20,4 J6.4 14,8 13,5 11,2 10,8 11,0

52 51 46 42 40 36 30 28 22

V 40 град/мин

V ts 30-40 град/мин

V Ј 30 град/мин