Способ изготовления емкостного датчика давления Советский патент 1991 года по МПК G01L9/12 

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам изготовления емкостных датчиков давления, предназначенных для использования в условиях воздействия высоких температур„

Цель изобретения - расширение рабочего температурного диапазона датчика в области высоких температур и упрощение технологии изготовления за счет устранения необходимости сварки

На фиг. 1 представлен фрагмент емкостного датчика давления, изготовленного предлагаемым способом; на фиг„ 2 - размещение электродов на пластине и упругом элементе.

Способ осуществляют следующим образом.

До закрепления корпуса 1 и пластины 2 помещают выводные проводники 3 между упругим элементом 4 и пластиной вдоль радиусов упругого элемента под углом 120° друг к другу для обеспечения равномерно распределенного усилия нажатия, а следовательно, и одинакового значения контактного сопротивления в контактном соединении контактная площадка - выводной проводник, а также для обеспечения равномерного зазора меяду тонкопленочными электродами.5. Выводные проводники 3 располагают таким образом на контактных площадках 6, что каждый выводной проводник касается одной из своих поверхностей контактной площадки, а другой - поверхности диэлектрика 7 для обеспеО

ГО

со

о со

чения электрической связи между эле- меятами схемы. Помещают пластину и .корпус в технологическое приспособление (не показано), центрирующее пластину и упругий элемент, прижимают пластину к упругому элементу усилием, приложенным к центру пла- стины с целью равномерного распределения прикладываемого усилия. Величина усилия определяется соотношением

3(ГпЈ. S тр7+

К

тр,

Гт,

где (УПр- предел прочности выводного

проводника;

S - площадь поперечного сечения выводного проводника; коэффициент трения выводного проводника и упругого элемента;

коэффициент трбния выводного проводника и пластины, и скрепляют пластину с упругим эле- ментом, напримерj сваркой по периферии не менее чем в трех точках, равноудаленных от выводных проводников, для обеспечения равномерного

К.

15

20

25

Способ изготовления емкос датчика давления, заключающи нанесении электродов с конта площадками на мембрану с кра том и пластину, размещении в проводников на контактных пл и креплении краевого бурта к не, от. личающийся что, с целью упрощения техно и расширения температурного на, перед креплением краево к пластине выводные проводни мещают равномерно по краевом и радиально между краевым и пластиной так, чтобы кажд ной проводник касался лишь из контактных площадок, и п пластину к краевому бурту у F, приложенным к центру пла

зазора между электродами и равномерно 3Q определяемым из соотношения

распределенного контактного усилия,

Выбор суммарного приложенного усилия, удерживающего выводной проводник равным усилию его разрыва, позволяет оптимизировать величину этого усилия Если в еличина усилия больше усилия разрыва, это может привести к неоправданному увеличению усилия и в конечном счете к разрыву проводника. Если величина усилия, удерживающего выводной проводник за счет сил трения, окажется недоF

зС

где

Gnp

Ктр,+

ли.

v ктрг

35

Л

40

К.

предел прочности проводника;

площадь поперечно ния выводного про коэффициент трени него проводника и элемента;

коэффициент трени ного проводника и

5

0

5

статочной, то выводной проводник может сместиться в зазоре между .пластиной и упругим элементом относительно контактной площадки и тем самым не обеспечить электрического соединения в схеме датчика.

Формула изобретения

Способ изготовления емкостного датчика давления, заключающийся в нанесении электродов с контактными площадками на мембрану с краевым буртом и пластину, размещении выводных проводников на контактных площадках и креплении краевого бурта к пластине, от. личающийся тем, что, с целью упрощения технологии и расширения температурного диапазона, перед креплением краевого бурта к пластине выводные проводники размещают равномерно по краевому бурту и радиально между краевым буртом и пластиной так, чтобы каждый выводной проводник касался лишь одной из контактных площадок, и прижимают пластину к краевому бурту усилием F, приложенным к центру пластины и

F

зС

где

Gnp

Ктр,+

ли.

v ктрг

5

Л

0

К.

предел прочности выводного проводника;

площадь поперечного сечения выводного проводника; коэффициент трения вывод- него проводника и упругого элемента;

коэффициент трения выводного проводника и пластины,

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к способам изготовления емкостных датчикой давления, предназначенных для использования в условиях воздействия высоких температур. Целью изобретения является упрощение технологии изготовления датчика за счет устранения необходимости сварки и расширения температурного диапазона. Датчик содержит пластину и мембрану, с краевым буртом, на которых размещены электроды с контактными площадкамио При сборке датчика выводные проводники радиально размещают между контактной площадкой мембраны с буртом и пластиной. Причем проводники размещают равномерно по окружности буртао Затем сжимают пластину и мембрану с буртом определенным усилием и скрепляют между собой. При этом проводники оказываются прижатыми к контактным площадкам, что исключает необходимость пайки или сварки этих элементов. 2 ил. I (Л

Фм.1