Изобретение относится к дозирующим устройствам и может быть использовано для получения парогазовых смесей при наращивании и легировании полупров одник ов ых мате риалов.
Целью изобретения является повышение точности дозирования за счет восстановления уровня жидкости в камере насыщения.
На чертеже схематично представлен дозатор барботажного типа.
Дозатор содержит камеру 1 подачи с входным каналом 2 для газа-носителя, открытую снизу и размещенную в камере 3 насыщения с выходным каналом 4. Камера 3 насыщения сообщена каналом 5 с камерой 6 подпитки, донная часть которой сообщена с одним из колен U-образной трубки 7, второе колено которой герметично пропущено через дно камеры 3 насыщения в камеру 1 подачи. Длина второго колена больше расстояния от открытого торца 8 камеры 1 подачи до канала 5, который по высоте расположен ниже выходного канала 4, но выше торца 9 второго колена, установленного не ниже торца 10 первого колена.
Объем камеры 1 подачи, ограниченный по высоте открытым ее торцом.8 и торцом 9 второго колена, равен объему камеры 3 насыщения, ограниченному по высоте торцом 9 второго колена и каналом 5.
Входной и выходной каналы снабжены узлом выравнивания давления (не показан), например, в виде двухпози- ционного вентиля, который в одной из своих позиций сообщает входной канал 2 с источником газа-носителя, выходной канал - с потребителем, а во второй позиции - входной и выходной каналы сообщены между собой.
Дозатор барботажного типа работае следующим образом.
При установке вентиля в первую позицию газ-носитель через входной канал 2 поступает в камеру 1 подачи и начинает вытеснять жидкость 11 в камеру 3 насыщения и камеру 6 подпитки. Уровень жидкости в камерах 1, 3 соответственно подачи и насыщения одинаковый, С момента, когда уровень
5
0
5
жидкости в камере 1 подачи опустится ниже торца 9 второго колена, жидкость из U-образной трубки 7 вытеснится в камеру 6 подпитки, а из камеры 1 подачи через открытый торец 8 в камеру 3 насыщения По достижении канала 5 излишек жидкости 11 из камеры 3 насыщения перетечет в камеру 6 подпитки. После полного вытеснения жидкости 11 из камеры 1 подачи начинается бар- ботаж в камере 3 насыщения и дозирование в выходной канал 4.
После переключения вентиля во вторую позицию уровень жидкости во всех камерах 1, 3 и 6 выравнивается посредством перетекания ее по U- образной трубке. г
Дозатор подготовлен к следующему циклу.
Формула изобретения
1„Дояатор барботажного типа, содержащий камеру подачи с входным каналом для газа-носителя, открытую снизу и размещенную в камере насыщения с выходным каналом, сообщенной каналом с камерой подпитки, донная часть которой сообщена с одним из колен U-образной трубки, второе колено которой герметично связано с дном камеры насыщения, отличающий- с я тем, что, с целью повышения точности, в него введен узел выравнивания давления для входного и выходного каналов, второе колено пропущено в камеру подачи, его длина больше расстояния от открытого торца камеры подачи до канала сооб- щения камер насыщения и подпитки, который по высоте расположен ниже выходного канала но выше второго колена, установленного не ниже торца 45 первого колена.
i 2.Дозатор поп.1, отличающийся тем, что объем камеры подачи, ограниченный по высоте откры- CQ тым ее торцом и торцом второго коле0
35,
40
на, равен объему камеры насыщения, ограниченному по высоте торцом второго колена и каналом сообщения камер насыщения и подпитки.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
РЕКТИФИКАЦИОННАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ РАЗДЕЛЕНИЯ ИЗОТОПОВ | 2020 |
|
RU2723844C1 |
Дозатор реагента для нефтяных скважин | 1990 |
|
SU1776769A1 |
СПОСОБ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД И КОМПАКТНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИНДИВИДУАЛЬНОЙ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД | 2010 |
|
RU2422380C1 |
ГОРЕЛОЧНОЕ УСТРОЙСТВО И БЫТОВАЯ ОТОПИТЕЛЬНАЯ ПЕЧЬ ДЛЯ ЖИДКОГО ТОПЛИВА | 2002 |
|
RU2237217C2 |
Устройство для дозирования жидкости в биокультиватор | 1989 |
|
SU1703980A1 |
АВТОМАТИЧЕСКИЙ СИФОННЫЙ ДОЗАТОР-РАСПРЕДЕЛИТЕЛЬ | 2021 |
|
RU2758541C1 |
СПОСОБ ЭФФЕКТИВНОЙ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭФФЕКТИВНОЙ ОЧИСТКИ СТОЧНЫХ ВОД | 2010 |
|
RU2455239C1 |
БАРБОТЕР ЭЛЕКТРОЛИЗЕРА | 1992 |
|
RU2044111C1 |
Указатель уровня воды в паровом котле | 1945 |
|
SU68759A1 |
ЭРЛИФТ (ВАРИАНТЫ) И СПОСОБ ЕГО РАБОТЫ | 2006 |
|
RU2338695C2 |
Изобретение относится к дозирующим устройствам и позволяет повысить точность. Газ-носитель через входной канал 2 поступает в камеру 1 подачи и начинает вытеснять жидкость 11 в камеру 3 насыщения и камеру 6 подпитки, которые сообщены каналом 5, расположенным ниже выходного канала 4, но выше торца 9 второго колена U-образной трубки, пропущенной в камеру 1 подачи через дно камеры 3 насыщения. С момента, когда уровень жидкости в камере 1 подачи опустится ниже торца 9 пторого колена, длина которого больше расстояния от открытого торца 8 камеры 1 подачи до канала 5, жидкость из U-образной трубки вытеснится в камеру 6 подпитки, а из камеры 1 подачи через открытый торец 8-в камеру 3 насыщения. По достижении канала 5 излишек жидкости 11 из камеры 3 насыщения перетечет в камеру 6 подпитки. После - полного вытеснения жидкости из каме- «ры 1 подачи начинается барботаж в .камере 3 насыщения и дозирование в выходной канал 4о 1 з.п. ф-лы, Кил, (Л с О Ј2 1C со Сл
Гришин В.М | |||
и др | |||
Аппаратура для диффузии и эпитаксии,- Обзоры по электронной технике | |||
Сер | |||
Полупроводниковые приборы.М., 1975, вып.3(282), с.6, рис.1ж. |
Авторы
Даты
1991-02-28—Публикация
1989-03-01—Подача