Сканирующий интерферометр Фабри-Перо Советский патент 1991 года по МПК G01J3/26 

Изобретение относится к оптическому спектральному приборостроению. Цель изобретения - увеличение диапазона регулирования постоянной и частоты сканирования, Цель достигается благодаря закреплению зеркал, резонатора в каждой точке с помощью двух пьезоэлементов 3, расположенных на одном радиальном направлении так, что один из них закреплен на нерабочей поверхности 6 зеркала по его периметру, второй на торцовой поверхности 7 фланца 4. Между собой они жестко скреплены посредством скобы 8, изготовленной из того же материала, что и фланцы 4. Узлы крепления фланцев 5 выполнены в виде дифференциальных винтовых механизмов, винтовая пара которых изготовлена из одного материала При этом пьезоэлементы каждой пары смещены вдоль оптической оси друг относительно друга на величину, определяемую по приведенной формуле Н («з - «к )/( «к - «с ). где La толщина зеркал резонатора; Ос,ак,а3 - температурные коэффициенты линейного расширения материалов скобы, узла крепления и зеркал соответственно. 2 ил. Ё

Фиг.I